Применение методов сканирующего зонда иное, чем для микроскопии сканирующего зонда (SPM) – G01Q 80/00

Способ может быть использован для исследования, например, трубопроводов, работающих в экстремальных условиях атомных электростанций, нефте- и газоперерабатывающих заводов. Сущность изобретения заключается в том, что в способе подготовки и измерения поверхности крупногабаритного объекта сканирующим зондовым микроскопом, включающем формирование измерительной поверхности механическим способом и первое исследование измерительной поверхности, дополнительно на крупногабаритном объекте формируют установочную область, на которою устанавливают сканирующий зондовый микроскоп. Технический результат - повышение точности измерений, расширение их функциональных возможностей. 7 з.п. ф-лы, 1 ил.