Калибровка, например зондов – G01Q 40/00

Изобретение относится к области калибровки оптических цифровых и конфокальных микроскопов, растровых электронных микроскопов и сканирующих зондовых микроскопов при измерении микронных и нанометровых длин отрезков. Тестовый объект для калибровки микроскопов выполнен в виде канавочных структур, стенки которых имеют наклонный профиль, плоское основание и разную ширину на поверхности и на дне. Для всех элементов выдержан постоянный угол между боковой стенкой и плоскостью дна. Линейные размеры по крайней мере части элементов отличаются друг от друга в заданное количество раз, а линейные размеры наибольшего элемента могут быть измерены с высокой точностью на используемом при проведении измерений аттестованном измерительном оборудовании. Техническим результатом является независимость результата измерений от температуры среды и повышение точности измерений длин отрезков, характеризующих профиль элемента рельефа, в большом диапазоне длин. 2 з.п. ф-лы, 1 ил.

Тестовая структура состоит из основания, содержащего приповерхностный слой. Приповерхностный слой имеет рельефную ячеистую структуру с плотной упаковкой. Соседние ячейки имеют общую стенку, а каждая ячейка является как минимум пятистенной. Стенки каждой ячейки расположены вертикально, а верхние кромки стенок ячеек имеют вогнутую форму. Тестовая структура содержит острия, имеющие радиус кривизны вершин нанометрового диапазона. Острия выполнены соединением в узловых местах трех верхних кромок стенок различных ячеек. Острия при вершинах выполнены из оксида титана. Приповерхностный слой основания выполнен из титана. Основание может быть выполнено из титана. Основание также может быть выполнено в виде подложки, на которой расположена пленка титана, содержащая приповерхностный слой основания. Технический результат - повышение воспроизводимости в определении радиуса кривизны острия иглы кантилевера. 1 з.п. ф-лы, 2 ил.

Изобретение относится к области электронной микроскопии, а точнее к устройствам, обеспечивающим калибровку предметных столиков растровых электронных микроскопов в широком диапазоне перемещений. Изобретение представляет собой структуру, состоящую из основания и расположенного на нем упорядоченного массива микроструктур в виде выступов, размещенных так, что в каждой строке каждый n-й элемент заменен пустым пространством, а в каждой следующей строке замененный элемент смещен на одну позицию, число n может быть от 3 до 10 в зависимости от размеров микроструктур. Наличие замененных на пустое пространство элементов создает в массиве микроструктур наклонные полосы, используемые при калибровке тестовой структуры и предметного столика. Технический результат - использование такой тестовой структуры позволяет с большой точностью калибровать предметные столики, определить среднюю величину заданного шага перемещения столика и неопределенность шага перемещения. 2 з.п. ф-лы, 1 ил.

Изобретение относится к нанотехнологиям, электронике, приборостроению и может использоваться для работы с зондовым микроскопом. Согласно способу, проводят сканирование калибровочной поверхности. Определяют форму и размеры конца иглы с использованием модели взаимодействия иглы с калибровочной поверхностью. В качестве калибровочной поверхности используют поверхность, которая содержит элементы всех размеров, которые могут быть зарегистрированы зондовым микроскопом с исследуемой иглой. При сканировании записывают параметры работы микроскопа, которые характеризуют физические условия взаимодействия иглы с поверхностью. Формируют набор моделей формы острия иглы, для каждой из которой строят модель рельефа с учетом физических условий взаимодействия иглы и поверхности. В качестве формы и размеров острия исследуемой иглы выбирают ту форму и размеры острия той модели, для которой в наибольшей степени наблюдается соответствие упомянутым физическим условиям процесса сканирования. Заявленный способ позволяет измерять форму и размеры острия иглы, нанометровой величины, например, для игл, которые используются в туннельном микроскопе. 2 з.п. ф-лы, 6 ил.

Изобретение относится к области туннельной и атомно-силовой микроскопии, а точнее к устройствам, обеспечивающим градуировку сканирующих зондовых микроскопов (СЗМ) на нанометровом уровне. Изобретение представляет собой структуру, состоящую из основания и расположенных на нем нанотрубок с известными геометрическими и физическими параметрами и фуллеренов С₆₀, образующих на поверхности основания отдельную однослойную пространственно ограниченную пленку. Технический результат - использование нанотрубок, являющихся идеальными цилиндрическими объектами наноразмерного диаметра, позволяет использовать тестовую структуру для точного определения радиуса закругления острия иглы как в атомно-силовом, так и туннельном микроскопах. Использование однослойных пленок фуллеренов С₆₀ позволяет иметь на тестовой структуре меру длины для вертикального и латеральных перемещений острия зонда относительно основания с известной точностью. 1 ил.