Общие аспекты SPM зондов, их изготовление или относящееся к ним оснащение в той мере, в какой эти зонды не являются специально предназначенными для одного конкретного типа техники SPM, охватываемых одной из групп  ,G01Q 60/00: .матрицы наконечников зондов – G01Q 70/06

Комплект зондов для использования в сканирующем зондовом микроскопе содержит носитель, имеющий множество из по меньшей мере трех идентичных зондов и средство адресации. Каждый зонд имеет упругую опорную балку и головку, которая расположена на плоскости, которая является общей для множества головок зондов, и которая является подвижной относительно плоскости. Средство адресации содержит по меньшей мере один дополнительный слой, нанесенный на опорную балку, созданный из материала, отличного от материала опорной балки, с образованием таким образом многослойной структуры, содержащей по меньшей мере два слоя с различным термическим расширением. При этом средство адресации выполнено с возможностью выбора одного из множества зондов для относительного перемещения по отношению к большинству остальных зондов посредством нагревания многослойного материала с помощью удаленного источника света. Технический результат - повышение быстроты замены зондов, упрощение конструкции устройства. 3 н. и 26 з.п. ф-лы, 8 ил.