Подготовка оригиналов для фотомеханического изготовления рельефных (текстурированных) поверхностей или поверхностей с рисунком: .оригиналы, имеющие неорганические слои для формирования изображения, например хромовые маски – G03F 1/08

МПКРаздел GG03G03FG03F 1/00G03F 1/08
Раздел G ФИЗИКА
G03 Фотография; кинематография; аналогичное оборудование, использующее волны иные, чем оптические; электрография; голография
G03F Фотомеханическое изготовление рельефных (текстурированных) поверхностей или поверхностей с рисунком, например для печати, для изготовления полупроводниковых приборов; материалы для этих целей; оригиналы для этих целей; устройства, специально приспособленные для этих целей
G03F 1/00 Подготовка оригиналов для фотомеханического изготовления рельефных (текстурированных) поверхностей или поверхностей с рисунком
G03F 1/08 .оригиналы, имеющие неорганические слои для формирования изображения, например хромовые маски

Патенты в данной категории

СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ФОТОШАБЛОННЫХ ЗАГОТОВОК

Изобретение относится к микроэлектронике, а именно к фотошаблонным заготовкам, предназначенным для получения шаблонов с последующей передачей рисунка микроизображения на полупроводниковую пластину при изготовлении интегральных схем. Предлагается в процессе нанесения маскирующего слоя окиси железа окислительным пиролизом пентакарбонила железа в газ-носитель вводить окислитель в виде газообразного галогена, что стабилизирует процесс окисления и делает его более полным. Технический результат - получение менее дефектных маскирующих пленок и снижение температуры процесса. 3 з.п. ф-лы, 1 табл.

2319189
патент выдан:
опубликован: 10.03.2008
ФОТОШАБЛОННАЯ ЗАГОТОВКА

Фотошаблонная заготовка содержит на стеклянном основании покрытие и пленку резиста. В качестве материала покрытия использовано соединение общей формулы МmЭn, где М - хром, железо; Э - азот, кислород; m и n - атомное соотношение М и Э, причем m>3, n<4. В качестве пленки резиста использован фоторезист или электронорезист. Соотношение толщин основание : покрытие : пленка резиста составляет (1-3)103:1:(3-6). Технический результат: повышение стабильности литографических характеристик вследствие установленного соотношения толщин основание-покрытие-пленка резиста. 1 з.п. ф-лы, 1 табл.
2206115
патент выдан:
опубликован: 10.06.2003
Наверх