Элементы сравнения, т.е. элементы для прямого или косвенного сравнения действительной величины с требуемым значением: ...с шаговой индикацией – G05B 1/08
Раздел G ФИЗИКА
G05 Управление; регулирование
G05B Регулирующие и управляющие системы общего назначения; функциональные элементы таких систем; устройства для контроля или испытания таких систем или элементов
G05B 1/00 Элементы сравнения, т.е. элементы для прямого или косвенного сравнения действительной величины с требуемым значением
G05B 1/08 ...с шаговой индикацией
Патенты в данной категории
| СПОСОБ ПОЗИЦИОНИРОВАНИЯ ПОДВИЖНОГО ЭЛЕМЕНТА ОТНОСИТЕЛЬНО БАЗОВОЙ СИСТЕМЫ КООРДИНАТ Изобретение относится к области машиностроения, а именно, к прецизионным позиционирующим средствам, и может быть использовано в прецизионных станках, высокоточных копирующих устройствах, а также в фотолитографических комплексах для электронной промышленности. Техническим результатом предложенного способа является обеспечение нанометрической точности позиционирования посредством повышения достоверности результатов измерения при контрольных замерах положения подвижного элемента. Способ включает формирование электропроводящего покрытия на выполненных из диэлектрического материала базовой поверхности направляющей и в зонах концевых участков базовой поверхности подвижного элемента и, после перемещения подвижного элемента в заданное положение, контроль величины зазора между базовой поверхностью направляющей и концевыми участками соответствующей базовой поверхности подвижного элемента посредством емкостных датчиков, причем контроль положения подвижного элемента относительно базовой системы координат осуществляют после сравнения и обеспечения равенства величин вышеуказанных зазоров. 1 ил. | 2182530 патент выдан: опубликован: 20.05.2002 |
|