Разрядные приборы с устройствами для ввода объектов или материалов, подлежащих воздействию разряда, например с целью их исследования или обработки: ....электронные пушки с использованием источника электронов с автоэлектронной эмиссией, фотоэмиссией или вторичной эмиссией – H01J 37/073
Патенты в данной категории
| СПОСОБ ЭЛЕКТРОННОЙ ЛИТОГРАФИИ
Способ электронной литографии относится к способам нанесения рисунков в технологии изготовления полупроводниковых устройств. Способ реализуется путем переноса изображения с катода-маски электронами вторичной электронной эмиссии на резист, подложка которого соединена с анодом. Особенностью является то, что технологическую камеру заполняют рабочим газом, в прикатодной области создают тлеющий разряд за счет использования дополнительного электрода, электрически соединенного с анодом. При этом катод-маску выполняют из материалов с разными коэффициентами вторичной ионно-электронной эмиссии. Параметры тлеющего разряда выбирают из условия существования вторичной ионно-электронной эмиссии с обоих материалов катода-маски. Технический результат - повышение срока службы катода-маски. 1 з.п. ф-лы, 4 ил. |
2462784 патент выдан: опубликован: 27.09.2012 |
|
| ИМПУЛЬСНАЯ ТРУБКА Изобретение относится к источникам электронного и рентгеновского излучений, которые могут применяться при исследованиях в области радиационных физики и химии, радиобиологии, а также в радиационных технологиях, например в химической промышленности, медицине и др. Техническим результатом при создании данного изобретения является получение однородного пятна излучения большой площади, повышение ресурса трубки и упрощение конструкции. Указанный технический результат достигается тем, что по сравнению с известной импульсной трубкой, содержащей вакуумированный корпус, анод и закрепленный на изоляторе взрывоэмиссионный катод с электронными эмиттерами на токопроводящей основе, новым является то, что электронные эмиттеры выполнены в виде идентичных пластинчатых выступов путем их неполной вырубки и отгиба из материала основы. Электронные эмиттеры выполнены в виде пластинчатых выступов треугольной, полукруглой или трапециевидной формы. 1 з.п ф-лы, 4 ил. | 2145748 патент выдан: опубликован: 20.02.2000 |
|