Разрядные приборы с устройствами для ввода объектов или материалов, подлежащих воздействию разряда, например с целью их исследования или обработки: ....электронные пушки с использованием разряда в газах или парах в качестве источников электронов – H01J 37/077
Патенты в данной категории
| ФОКУСАТОР ГАЗОРАЗРЯДНОЙ ПЛАЗМЫ
Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано при производстве интегральных микросхем на активных и пассивных подложках и элементов дифракционной оптики на криволинейных поверхностях. Фокусатор газоразрядной плазмы содержит катод, сетчатый анод, изоляцию и высоковольтный ввод. Катод и сетчатый анод выполнены с кривизной, равной кривизне поверхности обрабатываемого изделия, и располагаются от него на расстоянии 15 |
2339191 патент выдан: опубликован: 20.11.2008 |
|
| КАТОД ПЛАЗМЕННОГО УСКОРИТЕЛЯ
Изобретение относится к области электрореактивных двигателей, а именно к классу плазменных ускорителей (холловских, ионных), использующих в своем составе катоды. Катод плазменного ускорителя включает в себя держатель, в который установлен эмиттер, и осесимметрично расположенный с держателем нагреватель, состоящий из корпуса, во внутренней полости которого установлен электроизолятор, кроме того, во внутренней полости электроизолятора установлена спираль нагревателя. Электроизолятор имеет выступ в сторону держателя, образующий зазор с держателем и ограничивающий радиальное перемещение держателя относительно спирали нагревателя. При этом величина зазора между выступом электроизолятора и держателем меньше зазора между спиралью нагревателя и держателем. Выступ электроизолятора выполнен в виде отдельной втулки из электроизоляционного материала, которая установлена во внутренней полости корпуса нагревателя, причем во втулке выполнены каналы для прохода сквозь нее спирали нагревателя. Кроме того, эта втулка установлена на конце нагревателя, который соответствует выходному концу держателя эмиттера. Технический результат: повышение надежности работы катода за счет предотвращения возможности электрического контакта между спиралью нагревателя и держателем эмиттера при тепловой деформации держателя. 2 з.п. ф-лы, 1 ил. |
2304858 патент выдан: опубликован: 20.08.2007 |
|
| ПЛАЗМЕННЫЙ КАТОД-КОМПЕНСАТОР
Изобретение относится к плазменной технике, а именно к катодам-компенсаторам, работающим на газообразных рабочих телах, и может быть использовано в электрореактивных двигателях для нейтрализации ионного пучка, а также в технологических источниках плазмы, предназначенных для ионно-плазменной обработки поверхностей материалов. Плазменный катод-компенсатор содержит полый держатель 1 с торцевой стенкой 2 и выходным отверстием 3 на выходе, внутри которого расположена полая капсула 4 с торцевой стенкой 5 и проходным отверстием на выходе, которую охватывают последовательно нагреватель 7 и тепловые экраны 8, а внутри нее размещен термический эмиттер 9, имеющий с одной стороны сплошную торцевую стенку 10 и по меньшей мере один канал прохода рабочего тела 11, опорный изолятор 16 и трубку подвода рабочего газа 17, сообщенную с полой капсулой 4, сплошная торцевая стенка термического эмиттера 10 размещена относительно торцевой стенки 5 с проходным отверстием полой капсулы 4 с зазором (L1) так, что между ними образована полость, а канал прохода рабочего тела 11 в термическом эмиттере 9 образован со стороны входа по меньшей мере одним глухим продольным отверстием, а со стороны выхода - по меньшей мере одним продольным пазом на боковой поверхности термического эмиттера, и сообщенных между собой по меньшей мере одним поперечным отверстием. Диаметр (d 1) проходного отверстия полой капсулы 4 предпочтительней выполнять меньше диаметра (d2) осевого отверстия термического эмиттера 9. Между полой капсулой 4 и трубкой подвода рабочего газа 17 может быть введена вставка 19, выполненная из материала с низкой теплопроводностью. Коаксиально выходному отверстию 3 полого держателя 1 может быть установлен экран 20 с осевым зазором (L2) относительно торцевой стенки 5 полой капсулы 4. Технический результат: стабилизация параметров катода-компенсатора при включениях и повышение его надежности. 3 з.п. ф-лы, 2 ил. |
2287203 патент выдан: опубликован: 10.11.2006 |
|
| ПЛАЗМЕННЫЙ ЭЛЕКТРОННЫЙ ИСТОЧНИК ЛЕНТОЧНОГО ПУЧКА Использование: в области плазменной техники, при разработке электронно-лучевых устройств и в электронно-лучевой технологии, экспериментальной физике, плазмохимической технологии. Сущность изобретения: в известном электронном источнике, предназначенном для генерации непрерывного электронного пучка ленточной конфигурации и включающем цилиндрический полый катод с окном в боковой стенке, анод с эмиссионным окном, перекрытым металлической сеткой, ускоряющий электрод с окном для пропускания электронного пучка, внутренние торцевые стенки полого катода закрыты пластинами из термостойкого неорганического диэлектрика. Техническим результатом изобретения является повышение однородности электронного пучка по его поперечному сечению за счет снижения краевых максимумов плотности тока в пучке на его краях. 2 ил. | 2231164 патент выдан: опубликован: 20.06.2004 |
|
| КАТОД-КОМПЕНСАТОР Изобретение предназначено для использования в катодах-компенсаторах, работающих на газообразных телах, для нейтрализации ионного пучка в плазменных ускорителях, а также в технологических источниках плазмы. Техническим результатом является повышение надежности и ресурса работы. Катод-компенсатор содержит эмиссионный узел 1, поджигной электрод 2 и керамическое кольцо 3, на эмиссионном узле выполнен фланец 4, к которому присоединен корпус 5, а на керамическом кольце выполнен радиальный выступ 6 с проточкой. На поджигном электроде выполнен радиальный выступ 8 с продольным отверстием, в котором закреплен электропроводник системы электропитания 10. Часть наружной поверхности 11 корпуса 5 выполнена параллелепипедообразной формы, одна из боковых сторон которой снабжена крепежными отверстиями. Ось симметрии 14 параллелепипедообразной части корпуса смещена относительно продольной оси катода-компенсатора 15, а выступ 16 имеет продольное сквозное отверстие 17 для размещения в нем электропроводника системы электропитания. В состав поджигного электрода может входить экран, охватывающий радиальный выступ керамического кольца с зазором. Соединение поджигного электрода и корпуса с керамическим кольцом может включать зазоры и между торцами радиального выступа керамического кольца и противолежащими торцами стенок корпуса и поджигного электрода. 6 з.п. ф-лы, 9 ил. | 2173002 патент выдан: опубликован: 27.08.2001 |
|
| КАТОД-КОМПЕНСАТОР Изобретение предназначено для использования в катодах-компенсаторах, работающих на газообразных телах, для нейтрализации ионного пучка в плазменных ускорителях, а также в технологических источниках плазмы. Техническим результатом является повышение надежности и ресурса работы. Катод-компенсатор содержит корпус 1, поджигной электрод 2 и соосно размещенный эмиссионный узел 3 с трубкой подвода газа 4, между корпусом и поджигным электродом соосно с ними размещен керамический колпачок 5 так, что часть боковой поверхности колпачка сопряжена с боковыми поверхностями корпуса и поджигного электрода, а между поджигным электродом и всей остальной поверхностью колпачка образованы продольный и радиальный зазоры L1 и L2, на боковой поверхности поджигного электрода выполнены по меньшей мере два продольных паза 6. На боковой поверхности корпуса в месте соединения его с керамическим колпачком выполнены равномерно расположенные по контуру по меньшей мере два заклепочных отверстия или пуклевки 7, а на боковой поверхности керамического колпачка выполнены винтообразная или кольцевые канавки 8. Со стороны входа на боковой поверхности поджигного электрода выполнен лепесток 9 со сквозным отверстием 10, в котором закреплен электропроводник 11 системы электропитания. 2 з.п. ф-лы, 4 ил. | 2173001 патент выдан: опубликован: 27.08.2001 |
|
| КАТОД-КОМПЕНСАТОР Изобретение предназначено для использования в накальных катодах-компенсаторах, работающих на газообразных телах, для нейтрализации ионного пучка в плазменных ускорителях, а также в технологических источниках плазмы. Технический результат заключается в повышении формоустойчивости в пространстве спиралеобразного нагревателя, а также надежности и ресурса работы. Катод-компенсатор содержит поджигной электрод 1, внутри которого соосно установлен держатель 2, на котором установлена изоляционная трубка 3, окруженная тепловыми экранами 4, спираль нагревателя 5, охватывающая эмиссионный узел 6, в полости которого размещен термоэмиттер 7 с каналом, и трубку подвода газа 8, спираль нагревателя обвита проволокой 9 с шагом обвивки больше диаметра проволоки, причем проволока 9 покрыта слоем материала 10, химически пассивного к контактирующим материалам. В продольном направлении нагреватель охвачен по меньшей мере одним торцевым тепловым экраном 11 с центральным отверстием. Спираль нагревателя может быть покрыта слоем материала, химически пассивного к окружающим материалам, со степенью черноты не менее чем 0,3. 2 з.п. ф-лы, 2 ил. | 2168793 патент выдан: опубликован: 10.06.2001 |
|
| КАТОДНЫЙ УЗЕЛ Изобретение относится к области сильноточных вакуумных электродуговых устройств. Катодный узел содержит корпус, в котором размещен полостной термоэмиссионный катод, полость которого сообщена с внешним источником плазмообразующего вещества, и дополнительный электрод, размещенный внутри корпуса и электрически изолированный от него. Термоэмиссионный катод выполняется в виде пакета пластин с соосными отверстиями, установленных с зазором друг относительно друга при помощи расположенных между ними дистанционирующих пластин с соосными отверстиями большего размера, при этом пластины образуют полости, с поверхностей которых осуществляется эмиссия электронов. Техническим результатом изобретения является снижение расхода рабочего вещества через катод и повышение ресурса катода вследствие снижения уноса материала катода из полости при его испарении, а также повышение надежности зажиганий разряда в полости. 5 з.п.ф-лы, 2 ил. | 2139590 патент выдан: опубликован: 10.10.1999 |
|
| КАТОДНЫЙ УЗЕЛ Изобретение относится к электроракетным двигателям и можеи использоваться при их конструировании. Для повышения ресурса и эффективности работы катода, использующего в качестве плазмообразующего газа ксенон, внутренний источник эмиттирующего вещества образован установленным на выходе трубопровода подвода плазмообразующего газа жиклером и термогенератором паров цезия. Термогенератор расположен во внутренней полости катода. Отверстие жиклера ориентировано соосно с капиллярным отверстием корпуса катодного узла. Рабочий зазор между торцом жиклера и торцовой стенкой корпуса составляет не более диаметра капилляра. 2 ил. | 2108484 патент выдан: опубликован: 10.04.1998 |
|
| ШИРОКОАПЕРТУРНЫЙ ПЛАЗМЕННЫЙ ЭМИТТЕР Использование: в плазменной эмиссионной электротехнике, в частности в конструкции плазменных ионных и электронных эмиттеров непрерывного действия с большой поверхностью на основе объемного разряда с холодными электродами, для термической обработки в вакууме, при спекании изделий из металлических порошков, пайки, закалки, а также в технологических процессах, например, обезгаживании деталей с последующей активацией и покрытием поверхностей, когда требуется комбинация электронных и ионных пучков, решаемая в едином узле путем переключения полярности ускоряющего частицы напряжения. Сущность изобретения: в широкоапертурном эмиттере, выполненном в едином узле электродных систем вспомогательного кольцевого и основного объемного разрядов и содержащем общий анод и катоды, плоские катоды, один из которых сетчатый, магнитную систему, общий анод выполнен в форме цилиндрического тороида, в полость тороида со стороны внешнего цилиндра на половину длины заглублены стержневые катоды. Внутренний цилиндр тороида снабжен кольцевой прорезью и образует с торцовыми плоскими катодами полость, а на периферии внешнего цилиндра стержневые катоды перемкнуты магнитами и, следовательно, образуют магнитную цепь с продольным магнитным полем в полости тороида. 1 ил. | 2096857 патент выдан: опубликован: 20.11.1997 |
|
| ПЛАЗМЕННЫЙ КАТОД И СПОСОБ ЕГО ЗАПУСКА Использование: в плазменной технике, при создании электрореактивных двигателей и технологических источников ускоренных потоков для ионно-плазменной обработки поверхностей материалов в вакууме. Сущность изобретения: плазменный катод содержит корпус с открытым торцом, размещенный в корпусе эмиттер со сквозным каналом, один из концов которого расположен напротив открытого торца корпуса, электрически изолированный относительно корпуса и эмиттера пусковой элетрод и устройство для подачи рабочего тела в сквозной канал эмиттера. Пусковой элетрод размещен в полости корпуса перед другим концом сквозного канала эмиттера, а устройство подачи рабочего тела в сквозной канал эмиттера сообщено с внутренней полостью корпуса в зоне расположения пускового электрода. При запуске катода возбуждают пусковой разряд в рабочем теле в зоне между пусковым электродом и концом свозного канала эмиттера, противоположным открытому торцу корпуса, после чего подают отрицательный потенциал на эмиттер. Изобретение направлено на снижение энергоемкости катода путем облегчения условий его запуска и позволяет повысить его ресурс. 2 с. и 8 з.п. ф-лы, 5 ил. | 2031472 патент выдан: опубликован: 20.03.1995 |
|
| ПЛАЗМЕННЫЙ КАТОД-КОМПЕНСАТОР Использование: в плазменных ускорителях, работающих на агрессивных газообразных рабочих телах, в плазменной технологии. Сущность изобретения: катод-компенсатор содержит корпус 1, полый держатель 2, в котором плотно установлен термоэмиттер 3 со сквозным каналом 4, газопровод 5, закрепленный в опорном изоляторе 6. На выходном торце корпуса 1 герметично закреплена изоляционная втулка 7 с выходным отверстием, соосным каналу 4. Держатель 2 охвачен спиральным нагревателем 8. На внешнюю поверхность полого держателя 2 со стороны выходного отверстия и спираль нагревателя 8 нанесено антикоррозионное покрытие 9. Диаметр отверстия втулки равен 1,5 диаметра канала 4. Втулка 7 установлена на расстоянии, равном 3 - 5 диаметрам канала 4 от торца держателя 2. Данное выполнение катода-компенсатора предотвращает взаимодействие при высоких температурах держателя и нагревателя с химически активным рабочим телом, попадающим во внутреннюю полость катода-компенсатора. 1 ил. | 2030016 патент выдан: опубликован: 27.02.1995 |
|
| ПЛАЗМЕННЫЙ КАТОД-КОМПЕНСАТОР Использование: плазменные катоды-компенсаторы на газообразных рабочих телах для нейтрализации ионного пучка в электроракетных двигателях, а также в технологических источниках. Сущность изобретения: катод-компенсатор содержит термоэмиттер 4, помещенный в корпус 2 с нанесенным на него защитным слоем 10, спираль-нагреватель 6 с опорным кольцом 7, изоляционную втулку 18, систему тепловых экранов 11, геттер 15, трубку 13 подачи газа, электроизолятор 17 в цепи накала спирали-нагревателя. Центральный канал 5 тетроэмиттера выполнен со сплошной торцевой стенкой и сообщен с полостью держателя 3 через сквозные каналы 8 в боковой стенке термоэмиттера и продольные пазы 9, выполненные по боковой поверхности термоэмиттера. Полость держателя сообщена с трубкой 13 подачи газа через герметичную полость 14, образованную коаксиально установленными тепловыми экранами 11. 3 з. п. ф-лы, 2 ил. | 2012946 патент выдан: опубликован: 15.05.1994 |
|
СПОСОБ УПРАВЛЕНИЯ ТОКОМ ПЛАЗМЕННОГО ЭМИТТЕРА БОЛЬШОЙ ПЛОЩАДИ
Использование: в технике электронных и ионных источников с плазменным эмиттером, в экспериментальной физике, электронно-ионной технологии, ускорительной технике. Сущность изобретения: для управления током плазменного эмиттера большой площади устанавливают потенциал эмиссионного электрода, равным потенциалу эмитирующей плазмы, при неизменной концентрации плазмы вспомогательного разряда изменяют разность потенциалов между плазмой вспомогательного разряда и электродом, отделяющим эту плазму от эмитирующей плазмы, в пределах от 4,3 10-5Teln( /2mc/Mi) до 8,810-8n2в/3T1e/3r4/3, где Te и nв - температура и концентрация эмитронов плазмы вспомогательного разряда соответственно: me и Mi - соответственно масса электрона и иона плазмообразующего газа, r - радиус отверстия в электроде, отделяющим плазму вспомогательного разряда от эмитирующей плазмы. При установлении потенциала эмиссионного электрода, равным потенциалу эмитирующей плазмы, устраняется потенциальный барьер для электронов вблизи этого электрода, влияющий на энергетическую эффективность эмиттера и однородность эмиссии с периферийных участков эмиттера, а управление током эмиссии Iэ плазменного эмиттера, сопровождающееся снижением затрачиваемой на получение Iэ мощности, осуществляется регулировкой величины инжектируемого из вспомогательного разряда в расширитель потока электронов при изменении разности потенциалов между плазмой вспомогательного разряда и электродом, отделяющим эту плазму от эмитирующей плазмы. При изменении в указанных пределах разности потенциалов меняется протяженность ионного слоя у стенки отверстия в отделяющем электроде, что позволяет управлять площадью плазмы вспомогательного разряда, с которой происходит отбор инжектируемых в расширитель электронов, от максимального ее значения до нуля. 1 ил.
|
2012945 патент выдан: опубликован: 15.05.1994 |
|
<h>50