Разрядные приборы с устройствами для ввода объектов или материалов, подлежащих воздействию разряда, например с целью их исследования или обработки: ...линзы – H01J 37/10

Способ и устройство электронно-лучевого облучения содержит генератор треугольной волны, который формирует сигнал тока треугольной формы на катушку сканирования для перемещения электронного пучка в первом направлении сканирования (Y), а также генератор прямоугольной волны, который формирует сигнал тока прямоугольной формы на катушку отклонения для перемещения электронного пучка во втором направлении сканирования (X), перпендикулярном первому направлению сканирования (Y). Сигнал тока треугольной формы, выдаваемый генератором треугольной волны, модулируют таким образом, чтобы устранить эффекты гистерезиса в катушке сканирования. Кроме того, фронт сигнала тока прямоугольной формы синхронизируют с определенным сдвигом по времени относительно пиков сигнала тока треугольной формы, чтобы распределить точки возврата на маршруте электронного пучка на втором направлении сканирования. Технический результат - осуществление однородного сканирования, устранение проблем гистерезиса и устранение концентрации тепла на диафрагме. 5 с. и 5 з.п. ф-лы, 12 ил.