Разрядные приборы с устройствами для ввода объектов или материалов, подлежащих воздействию разряда, например с целью их исследования или обработки: ...устройства для направления или отклонения разряда вдоль требуемого пути – H01J 37/147

Изобретение относится к растровой электронной микроскопии и, в частности, к электромагнитным фильтрам, предназначенным для пространственного разделения пучков первичных и вторичных электронов. Фильтр содержит восемь секторных электродов, расположенных внутри цилиндра, выполненного из диэлектрического и немагнитного материала. Электроды изготовлены из ферромагнитного материала в виде восьми цилиндрических сегментов с углами раствора 30 и 60 градусов и одновременно выполняют функцию магнитных полюсов. На внешней стороне цилиндра расположены четыре магнитных полюса с углом раствора 60 и 120 градусов. Круглые диафрагмы с центральными отверстиями, расположенные на торцах фильтра, изготовлены из проводящего ферромагнитного материала, причем одна из диафрагм имеет четыре или более симметрично расположенных отверстий для вывода пучка вторичных электронов. Технический результат: отклонение пучка вторичных электронов более чем на 20 градусов при отсутствии отклонения оси пучка первичных электронов на всей длине фильтра и минимальности аберраций пучка первичных электронов. 1 з.п. ф-лы, 2 ил.