Разрядные приборы с устройствами для ввода объектов или материалов, подлежащих воздействию разряда, например с целью их исследования или обработки: ...электронно-оптические или ионно-оптические устройства для коррекции дефектов изображения, например стигматоры – H01J 37/153

Система содержит вакуумную систему, предметный столик с исследуемым образцом, источник освещения, объектив и последовательно расположенные магнитный дефлектор дисперсионного типа (МД), аберрационный корректор (АК), выполненный на базе осесимметричного аберрационного электростатического зеркала, блок транспортирующих линз и проекционный блок. После МД установлен компенсатор угловой энергетической дисперсии (КУЭД), содержащий осесимметричный блок направляющих электронных линз (БНЛ). В первом варианте в КУЭД после БНЛ расположено электростатическое зеркало, настроенное в режиме безаберрационной передачи изображения в центр МД с величиной коэффициента оптического увеличения (КОУ), равной 1, с образованием отрицательной обратной связи по угловой энергетической дисперсии. Во втором варианте после БНЛ установлен второй МД, идентичный первому, а БНЛ обеспечивает передачу изображения в центр второго МД с величиной КОУ, равной 1. В третьем варианте после БНЛ установлен второй МД, не идентичный первому, а БНЛ обеспечивает передачу изображения в центр второго МД с величиной КОУ, равной отношению синусов углов поворота оптических осей первого и второго МД. Технический результат - повышение разрешающей способности за счет коррекции сферохроматической аберрации и исключения причин возникновения квадратичной хроматической аберрации. 3 н. и 4 з.п. ф-лы, 5 ил., 1 табл.