Разрядные приборы с устройствами для ввода объектов или материалов, подлежащих воздействию разряда, например с целью их исследования или обработки: .электронные или ионные микроскопы, трубки с дифракцией электронов или ионов – H01J 37/26

Изобретение относится к области калибровки просвечивающих электронных микроскопов (ПЭМ) при измерениях в нано- и субнанометровом диапазонах. Тестовый объект выполнен в виде держателя образцов с несколькими местами крепления исследуемых объектов, в одном из которых расположена эталонная структура, выполненная в виде тонкого поперечного среза кремниевой структуры с периодической рельефной поверхностью, имеющей известное межплоскостное расстояние и известные размеры трапециевидных элементов рельефа. Техническим результатом является повышение точности калибровки ПЭМ, обеспечивающее повышение точности измерений с помощью ПЭМ длин отрезков, характеризующих профиль элемента рельефа в широком диапазоне длин (0.3-2000 нм), а также одновременное определение масштабного коэффициента ПЭМ по двум осям и степени линейности и ортогональности этих осей. 9 ил.

Изобретение относится к нанотехнологическому оборудованию и предназначено для замкнутого цикла производства новых изделий наноэлектроники. Сущность изобретения: в нанотехнологический комплекс на основе эпитаксиальных и ионных технологий, включающий камеру загрузки, модуль молекулярно-лучевой эпитаксии, модуль ионной имплантации, транспортную систему с захватом, носители подложек и средства откачки, введен блок переворота подложек, а транспортная система выполнена в виде автономной распределительной камеры с блоком откачки и соединительными фланцами, в которой расположен центральный робот-распределитель с возможностью осевого вращения, а также с возможностью взаимодействия, по меньшей мере, одним захватом носителей подложек с камерой загрузки, модулем молекулярно-лучевой эпитаксии и модулем ионной имплантации, состыкованными через соединительные фланцы с распределительной камерой. Изобретение позволяет расширить функциональные возможности нанотехнологического комплекса. 8 з.п. ф-лы, 1 ил.

Изобретение относится к вакуумной технике и предназначено для проведения операций по перемещению объектов внутри вакуумных систем. Изобретение может быть использовано для осуществления загрузки и выгрузки зондов и образцов в сканирующих зондовых микроскопах, эксплуатируемых в условиях вакуума с ограниченным визуальным доступом к зоне перегрузки. Сверхвысоковакуумная транспортная система содержит загрузочную камеру с установленными на ней первым манипулятором с захватом и вторым манипулятором с кассетой для носителей зондов и носителей образцов, в которой загрузочная камера состыкована с измерительной камерой, содержащей первый держатель носителей зондов и второй держатель носителей образцов, кассета для носителей зондов и носителей образцов выполнена линейной, а захват первого манипулятора сопряжен с первым держателем носителей зондов и вторым держателем носителей образцов. Подобное выполнение устройства повышает надежность его эксплуатации в условиях ограниченного визуального доступа. 5 з.п. ф-лы, 2 ил.

Изобретение относится к микробиологии и может применяться при профилактике инфекционных болезней. Электронный микроскоп содержит трубку, один конец которой соединен с вакуумным насосом, а другой конец трубки расположен внутри корпуса микроскопа после магнитного конденсора и герметично закрыт полусферической заглушкой. Заглушка имеет щели, ширина которых равна 10-0,01 мкм. Комнатный воздух входит внутрь корпуса и вытягивается через щели заглушки вакуумным насосом. Микробы и вирусы остаются на щелях заглушки. Поток электронов из катода, усиленный анодом и выравненный магнитным конденсором, проходит мимо полусферической заглушки, на которой задерживаются микроорганизмы. Увеличенное изображение микроорганизмов проецируется на фотографическую пластинку. По изображению на фотографической пластинке можно определить вредные для здоровья человека микробы и вирусы. 2 ил.

Изобретение относится к нанотехнологическому оборудованию и предназначено для замкнутого цикла производства новых изделий наноэлектроники. Нанотехнологический комплекс содержит блок загрузки носителей объектов (носителей зондов и носителей образцов) с объектами (зондами и образцами), блок подготовки объектов, камеру измерения, включающую сканирующий зондовый микроскоп, с первой системой координатного перемещения, на которой закреплен первый держатель носителей зондов, носитель образцов, пространственно сопряженный с носителем зондов, и транспортную систему. Комплекс снабжен блоком формирования структур и блоком локального воздействия, при этом камера измерения включает первую систему координатной установки носителя зондов на первом держателе, вторую систему координатного перемещения, на которой закреплен второй держатель со второй системой координатной установки носителей образцов, при этом первая система координатного перемещения сопряжена со второй системой координатного перемещения первой системой координатной привязки зондов и образцов, блок формирования структур содержит модуль формирования структур, а также третий держатель с третьей системой координатной установки носителей объектов, блок локального воздействия содержит модуль локального воздействия, а также четвертый держатель с четвертой системой координатной установки носителей объектов, при этом четвертый держатель установлен на четвертой системе координатного перемещения, сопряженной с модулем локального воздействия третьей системой координатной привязки модуля локального воздействия с объектом. Подобное выполнение расширяет функциональные возможности нанотехнологического комплекса. 13 з.п. ф-лы, 3 ил.

Изобретение относится к области научного приборостроения и может быть использовано при выпуске просвечивающих электронных микроскопов. Наконечник держателя для электронного микроскопа, состоящий из основания, за которое он крепится к держателю, зажима с отверстием для зажимающего винта и томографической сетки, сетка закреплена в наконечнике сбоку. Сетка для наконечника держателя для электронного микроскопа, допускающая ее вращение в диапазоне углов до ±80°, представляющая собой тонкую пластину с длинными узкими отверстиями в направлении, перпендикулярном оси держателя. Технический результат - увеличение разрешения просвечивающих электронных микроскопов. 2 н.п. ф-лы, 2 ил.

Изобретение относится к сканирующей туннельной спектроскопии и может быть использовано в зондовых микроскопах и приборах на их основе. Устройство управления скоростью сканирования туннельного микроскопа, вход которого подключен к системе стабилизации высоты острия микроскопа, содержит последовательно соединенные дифференциатор, экстраполятор и формирователь модуля. Регулировка величины интервала экстраполяции осуществляется источником, подключенным к экстраполятору. Выход формирователя модуля соединен с дифференциальным усилителем, на второй вход которого поступает сигнал установки. Выход дифференциального усилителя подключен к цепи из последовательно соединенных ограничителя, интегратора и блока управления переводом строки, в которой выходы интегратора и блока управления переводом строки являются выходами строчной и кадровой развертки микроскопа соответственно. Технический результат: повышение точности управления скоростью сканирования. 2 ил.