Разрядные приборы с устройствами для ввода объектов или материалов, подлежащих воздействию разряда, например с целью их исследования или обработки: ..со сканирующими лучами – H01J 37/28

МПК Раздел H H01 H01J H01J 37/00 H01J 37/28

Раздел H ЭЛЕКТРИЧЕСТВО

H01 Основные элементы электрического оборудования

H01J Электрические газоразрядные и вакуумные электронные приборы и газоразрядные осветительные лампы

H01J 37/00 Разрядные приборы с устройствами для ввода объектов или материалов, подлежащих воздействию разряда, например с целью их исследования или обработки

H01J 37/28 ..со сканирующими лучами

Патенты в данной категории

	СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ РЕЛЬЕФА ПОВЕРХНОСТИ Изобретение относится к измерительной технике. Технический результат - повышение информативности о профиле поверхности, скорости съема и обработки информации. Способ определения рельефа поверхности включает перемещение вдоль исследуемой поверхности набора чувствительных элементов и регистрацию их показаний, пропорциональных изменениям рельефа. Чувствительные элементы выполняют упругими, не контактирующими друг с другом и плотно заполняющими область плоскости над исследуемым участком поверхности, размещают их в поле зрения спекл-интерферометра, регистрируют в качестве опорной спеклограмму чувствительных элементов до начала их перемещения вдоль исследуемой поверхности и их спеклограмму в каждый момент времени в процессе перемещения, сравнивают эти спеклограммы путем вычитания и по полученной в результате сравнения спекл-интерферограмме, на которой одновременно в реальном масштабе времени регистрируются линии уровня микроперемещений всех чувствительных элементов набора в виде спекл-интерферометрических полос, и определяют прогиб каждого чувствительного элемента по соответствующему фрагменту спекл-интерферограммы. 3 ил.	2479063 патент выдан: опубликован: 10.04.2013
	СПОСОБ ТОМОГРАФИЧЕСКОГО АНАЛИЗА ОБРАЗЦА В РАСТРОВОМ ЭЛЕКТРОННОМ МИКРОСКОПЕ Изобретение относится к растровой электронной микроскопии и может быть использовано для неразрушающего послойного тестирования образцов, в частности изделий микро- и наноэлектроники. В изобретении используется способность обратнорассеянных электронов (ОРЭ) вызывать осаждение молекул остаточных углеводородов, адсорбированных на поверхности образца. При облучении образца стационарным сфокусированным электронным пучком вокруг точки падения пучка образуется углеродное кольцо. Диаметр кольца зависит от состава, толщины и глубины залегания слоев, пересекаемых ОРЭ. Эта зависимость лежит в основе томографического анализа. Кольцо является аналогом спектральной метки - индивидуальной характеристики образца. Положение метки на поверхности образцов с варьируемой послойной структурой прослеживается на модели. При изменении ускоряющего напряжения в анализ вовлекаются слои, находящиеся на различной глубине. Длина пробега электронов в образце определяется по измерениям углеродных колец, образующихся на поверхности при различных углах наклона к оси пучка. Показана возможность различения массивных подложек, в том числе кремния и арсенида галлия, под двухслойным покрытием с разрешением по глубине не хуже 10 100 нм. Разрешение по горизонтали в зависимости от ускоряющего напряжения меняется в пределах от нескольких микрометров до нескольких сотен нанометров. Технический результат - повышение достоверности и точности обработки результатов измерений. 4 з.п. ф-лы, 4 табл., 12 ил.	2453946 патент выдан: опубликован: 20.06.2012
	СКАНИРУЮЩИЙ ЗОНДОВЫЙ МИКРОСКОП Сканирующий зондовый микроскоп содержит средство привода, обеспечивающее детектируемое взаимодействие между зондом и образцом, средство придания колебаний либо зонду, либо образцу, механизм детектирования зонда и механизм обратной связи, обеспечивающий регулирование расстояния, отделяющего зонд и образец. Средство придания колебаний обеспечивает относительное колебательное движение зонда по занятой образцом поверхности так, что зонд выполняет по существу линейную развертку поверхности образца. Во время сканирования поверхности образца участок сканирования охватывается за счет упорядоченного расположения строк сканирования, каждая из которых снимается при колебании либо зонда, либо образца на его резонансной частоте или около его резонансной частоты, так что двойная амплитуда колебания равна максимальной длине строки сканирования, а их упорядоченное расположение обеспечивается действием средства привода. Обеспечивается более быстрое получение данных о взаимодействии образец-зонд и за счет этого повышение скорости считывания или записи информации. 3 н. и 20 з.п. ф-лы, 3 ил.	2334214 патент выдан: опубликован: 20.09.2008

	ЭЛЕКТРОМАГНИТНЫЙ ФИЛЬТР ДЛЯ РАЗДЕЛЕНИЯ ЭЛЕКТРОННЫХ ПУЧКОВ Изобретение относится к растровой электронной микроскопии и, в частности, к электромагнитным фильтрам, предназначенным для пространственного разделения пучков первичных и вторичных электронов. Фильтр содержит восемь секторных электродов, расположенных внутри цилиндра, выполненного из диэлектрического и немагнитного материала. Электроды изготовлены из ферромагнитного материала в виде восьми цилиндрических сегментов с углами раствора 30 и 60 градусов и одновременно выполняют функцию магнитных полюсов. На внешней стороне цилиндра расположены четыре магнитных полюса с углом раствора 60 и 120 градусов. Круглые диафрагмы с центральными отверстиями, расположенные на торцах фильтра, изготовлены из проводящего ферромагнитного материала, причем одна из диафрагм имеет четыре или более симметрично расположенных отверстий для вывода пучка вторичных электронов. Технический результат: отклонение пучка вторичных электронов более чем на 20 градусов при отсутствии отклонения оси пучка первичных электронов на всей длине фильтра и минимальности аберраций пучка первичных электронов. 1 з.п. ф-лы, 2 ил.	2305345 патент выдан: опубликован: 27.08.2007
	ИНЕРЦИОННЫЙ ДВИГАТЕЛЬ Изобретение относится к устройствам механического перемещения объекта вдоль одной координаты. Инерционный двигатель содержит основание, пьезомодуль, шток, сопряженный с V-образной направляющей, подвижную каретку и прижим. Пьезомодуль первым концом закреплен на основании, а вторым соединен со штоком, имеющим треугольный профиль с первой, второй и третьей гранями. Каретка содержит V-образную направляющую, сопряженную с первой и второй гранями штока, а прижим выполнен в виде плоской пружины, закрепленной на подвижной каретке и первой плоскостью сопряженной посредством вкладыша с третьей гранью штока. Техническим результатом является повышение точности и надежности устройства. 4 з.п. ф-лы, 2 ил.	2297072 патент выдан: опубликован: 10.04.2007
	СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ НАНОРЕЛЬЕФА ПОДЛОЖКИ Использование для определения нанорельефа подложки, выполненной из диэлектрического или полупроводникового материала. Сущность: основной зонд устанавливают под углом 55°-65° к подложке, вводят дополнительный зонд, который также устанавливают под углом 55°-65° к подложке и под углом 60°-70° к основному зонду. Основной и дополнительный зонды закрепляют на независимых дополнительных пьезоприводах, связанных с основным. Регулируют расстояние между остриями основного и дополнительного зонда до получения туннельного зазора, а измерение тока осуществляют в зондовой цепи между основным и дополнительными зондами. 1 ил.	2280853 патент выдан: опубликован: 27.07.2006
	СКАНИРУЮЩИЙ ЗОНДОВЫЙ МИКРОСКОП, СОВМЕЩЕННЫЙ С УСТРОЙСТВОМ МЕХАНИЧЕСКОЙ МОДИФИКАЦИИ ПОВЕРХНОСТИ ОБЪЕКТА Сканирующий зондовый микроскоп содержит корпус, на котором установлено сканирующее устройство по трем координатам с держателем зонда, держатель объекта, устройство позиционного перемещения зонда относительно объекта, содержащее первый привод, устройство предварительного сближения держателя с держателем объекта и устройство модификации поверхности объекта. Устройство модификации поверхности объекта выполнено в виде пуансона, сопряженного с механизмом перемещения держателя объекта относительно пуансона по криволинейной траектории со смещением на толщину механической модификации, соединенным со вторым приводом. Механизм перемещения держателя объекта включен в состав устройства позиционного перемещения зонда относительно объекта или устройства предварительного сближения держателя зонда с держателем объекта. Механизм перемещения держателя объекта относительно пуансона может быть выполнен в виде балки, установленной на корпусе и сопряженной первым концом с держателем объекта, а вторым концом со вторым приводом. Технический результат - расширение функциональных возможностей устройства. 11 з.п. ф-лы, 3 ил.	2233490 патент выдан: опубликован: 27.07.2004
	СКАНИРУЮЩИЙ ЗОНДОВЫЙ МИКРОСКОП С СИСТЕМОЙ АВТОМАТИЧЕСКОГО СЛЕЖЕНИЯ ЗА КАНТИЛЕВЕРОМ Сканирующий зондовый микроскоп с системой слежения за кантилевером содержит сопряженный с основанием сканер с кантилевером, закрепленным на сканере с возможностью взаимодействия с образцом, первое зеркало, связанное со сканером, и лазер, оптически сопряженный с первым зеркалом, кантилевером и фотоприемником. Траектория перемещения кантилевера расположена на сфере. Первое зеркало закреплено консольно на сканере с возможностью поворота вместе с кантилевером вокруг центра сферы таким образом, что отражающая поверхность первого зеркала обращена в сторону кантилевера и является срединным перпендикуляром к отрезку, соединяющему текущее положение кантилевера и центр сферы, а продолжение оптической оси лазера за первое зеркало проходит через центр сферы. Технический результат - расширение функциональных возможностей прибора, повышение точности слежения и надежности, а также упрощение юстировки. 21 з.п.ф-лы, 7 ил.	2227333 патент выдан: опубликован: 20.04.2004
	СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ИОННОГО ЛУЧА Изобретение относится к электронике, а более конкретно к способам получения ионного луча. Технический результат - повышение сфокусированности луча при малой интенсивности ионного луча прямолинейной направленности. Поток электронов и первичный ионный луч создают от мишени к зонду путем последовательного воздействия прямым электрическим, магнитным и обратным электрическим полями, затем между мишенью и зондом устанавливают подложку и вновь воздействуют прямым электрическим полем, причем мишень и подложку предварительно электрически связывают и создают вторичный ионный луч. 2 ил.	2219618 патент выдан: опубликован: 20.12.2003
	СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ЭЛЕКТРОННОГО ЛУЧА Изобретение относится к области электроники, а именно к способам получения электронного пучка. В способе получения электронного луча путем облучения катода электромагнитным излучением катод облучают лазерным лучом, а полученный электронный луч пропускают через одну магнитную линзу, полюса которой располагают по направлению движения электронов, две монополярные конденсаторные линзы и две диполярные, причем первую от катода монополярную конденсаторную линзу заряжают положительно, а вторую - отрицательно, первую и вторую диполярные линзы устанавливают во взаимно перпендикулярных направлениях с возможностью механической коррекции их взаимного расположения. Техническим результатом является получение электронного луча с электронами практически одинаковых кинетичеких энергий и импульсов, что обеспечивает минимальную хроматическую оберрацию и повышает разрешающую способность электронно-оптической системы. 1 ил.	2208262 патент выдан: опубликован: 10.07.2003
	СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ НАНОЧАСТИЦ ИЛИ НИТЕВИДНЫХ НАНОКРИСТАЛЛОВ, СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ НЕОРГАНИЧЕСКИХ ФУЛЛЕРЕНОПОДОБНЫХ СТРУКТУР ХАЛЬКОГЕНИДА МЕТАЛЛА, НЕОРГАНИЧЕСКИЕ ФУЛЛЕРЕНОПОДОБНЫЕ СТРУКТУРЫ ХАЛЬКОГЕНИДА МЕТАЛЛА, СТАБИЛЬНАЯ СУСПЕНЗИЯ IF-СТРУКТУР ХАЛЬКОГЕНИДА МЕТАЛЛА, СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК ИЗ IF-СТРУКТУР ХАЛЬКОГЕНИДА МЕТАЛЛА И ТОНКАЯ ПЛЕНКА, ПОЛУЧЕННАЯ ТАКИМ СПОСОБОМ, И НАСАДКА ДЛЯ РАСТРОВОГО МИКРОСКОПА Изобретение может быть использовано для получения светочувствительных элементов в солнечных батареях, при производстве инертных насадок для микроскопов SPM, аккумуляторных батарей и т.д. Сущность изобретения: предлагается способ приготовления наночастиц металлических оксидов, содержащих введенные частицы металла, относящийся также к получаемым из данных оксидов неорганическим фуллереноподобным (IF) структурам халькогенидов металла с интеркалированным и/или заключенным внутри металлом, который включает нагрев материала из металла I с водяным паром или выпаривание электронным лучом упомянутого материала из металла I с водой или другим подходящим растворителем, в присутствии соли металла II; сбор оксида металла I с присадкой металла II или продолжение процесса путем последующего сульфидирования, дающего достаточные количества IF-структур халькогенида металла I с интеркалированным и/или заключенным внутри металлом II. Соль металла II представляет собой предпочтительно соль щелочного, щелочноземельного или переходного металла и более предпочтительно хлорид щелочного металла. Интеркалированные и/или служащие оболочкой IF-структуры могут использоваться в качестве смазок. Они также образуют стабильные суспензии, например в спирте, а электрофоретическое осаждение из упомянутых суспензий позволяет получить тонкие пленки из интеркалированных IF-материалов, которые имеют широкий диапазон возможных применений. 7 н. и 14 з.п. ф-лы, 9 ил.	2194807 патент выдан: опубликован: 20.12.2002
	КАНТИЛЕВЕР ДЛЯ СКАНИРУЮЩЕГО ЗОНДОВОГО МИКРОСКОПА Изобретение относится к нанотехнологическому оборудованию, а именно к устройствам, обеспечивающим наблюдение, изменение и модификацию поверхности объектов в туннельном и атомно-силовых режимах. Предлагаемый кантилевер для сканирующего зондового микроскопа включает основание, к которому крепится балка, на дальнем от основания конце которой расположен клиновидный выступ, острие которого параллельно направлению сканирования. Балка кантилевера может иметь поперечное утончение с произвольным, например треугольным, сечением. Технический результат: повышение механической прочности кантилевера и уменьшение нелинейности зависимости снимаемого с него сигнала от рельефа сканирующей поверхности. 5 ил.	2161344 патент выдан: опубликован: 27.12.2000
	СВЕРХВЫСОКОВАКУУМНЫЙ СКАНИРУЮЩИЙ ЗОНДОВЫЙ МИКРОСКОП Изобретение относится к нанотехнологическому оборудованию, к устройствам, обеспечивающим наблюдение, измерение и модификацию поверхности объектов в туннельном и атомно-силовом режимах. Микроскоп содержит первую и вторую вакуумные камеры, манипулятор, платформу, на которой закреплены привод со сканером, держатель зонда с зондом, а также источник света и фотоприемник, оптически сопряженные с зондом, плиту с держателем объекта, сопряженную с платформой посредством привода, систему подвеса, фланец с крышкой и первый сильфон, причем вторая вакуумная камера образуется фланцем с крышкой, который соединен через первый сильфон с платформой, и представляет собой форвакуумную камеру, привод расположен в форвакуумной камере и содержит двигатель с линейно перемещающимся штоком, а также два упора и пружины, сканер выполнен в виде пьезотрубки, а система подвеса состоит из пружин, фиксаторов и магнитного гасителя, установленного на платформе и фланце. Технический результат - упрощение конструкции и юстировки, расширение функциональных возможностей, повышение надежности и разрешающей способности устройства. 2 ил.	2161343 патент выдан: опубликован: 27.12.2000
	СКАНИРУЮЩИЙ ЗОНДОВЫЙ МИКРОСКОП Изобретение относится к нанотехнологическому оборудованию, к устройствам, обеспечивающим наблюдение, измерение и модификацию поверхности объектов в режиме сканирующего туннельного микроскопа (СТМ) или атомно-силового микроскопа (АСМ). Возможно также использование изобретения в устройствах, где необходимо точно поддерживать расстояние между объектами. В сканирующем зондовом микроскопе, содержащем платформу, сопряженную с держателем зондов и со стойками, анализатор, держатель объекта, установленный на сканере, сопряженном с приводом, держатель зондов снабжен упорами, привод выполнен в виде подвижной каретки с подпружиненными и неподвижными первыми опорами, установленной на плоских и V-образных первых направляющих, и снабжен вторыми направляющими в виде двух плоских и одной V-образной с фасками, стойки держателя зондов выполнены в виде трех захватов, один из которых пружинный и содержит вторые опоры, держатель установлен на платформе с возможностью подвижки относительно платформы по координатам X, У, Z и возможностью взаимодействия упорами с платформой, причем захваты сопряжены с вторыми направляющими привода. Подобное выполнение сканирующего зондового микроскопа позволяет расширить функциональные возможности, упростить конструкцию, повысить надежность и точность измерения. 1 ил.	2159454 патент выдан: опубликован: 20.11.2000
	КАНТИЛЕВЕР ДЛЯ СКАНИРУЮЩЕГО ЗОНДОВОГО МИКРОСКОПА Изобретение относится к нанотехнологическому оборудованию, а именно к устройствам, обеспечивающим наблюдение, изменение и модификацию поверхности объектов в туннельном и атомно-силовом режимах. Предлагаемый кантилевер для сканирующего зондового микроскопа включает основание, к которому крепятся одна или несколько балок, на дальнем от основания конце каждой из которых расположено по игле. Каждая балка кантилевера выполнена с поперечным утончением с треугольным сечением. Изобретение позволяет увеличить нормальную чувствительность кантилевера при сохранении без изменений паразитной поперечной чувствительности, упростить технологию производства кантилевера при увеличении повторяемости параметров устройства, повысить механическую прочность кантилевера, уменьшить нелинейность зависимости направления отраженного от балки кантилевера лазерного луча от нормального усилия, приложенного к балке, изготавливать кантилеверы с заданной частотой собственных резонансных колебаний балки. 5 ил.	2153731 патент выдан: опубликован: 27.07.2000
	СВЕРХВЫСОКОВАКУУМНЫЙ СКАНИРУЮЩИЙ ЗОНДОВЫЙ МИКРОСКОП Изобретение относится к нанотехнологическому оборудованию, к устройствам, обеспечивающим наблюдение, измерение и модификацию поверхности объектов в туннельном и атомно-силовом режимах в условиях сверхвысокого вакуума и в широком диапазоне температур. В сверхвысоковакуумном сканирующем зондовом микроскопе, содержащем платформу с объектным блоком, состоящим из первого ловителя, держателя объекта, сопряженного с первым нагревателем и хладопроводом, плиту со сканером и держателем зонда, сопряженную с платформой посредством привода, и систему подвеса, введен фланец, привод выполнен в виде трех четырехсекционных пьезотрубок, закрепленных на платформе и находящихся во взаимодействии посредством опор с направляющими, установленными на плите, и прижима плиты, сканер выполнен в виде пьезотрубки и содержит пружинный многоконтактный ловитель держателя зонда, система подвеса состоит из пружин растяжения и магнитного гасителя, состоящего из набора магнитов, и медных пластин и набора магнитов, установленных с возможностью магнитного взаимодействия с магнитами платформы, а объектный блок содержит направляющие с двумя подвижными пластинами, на одной из которых установлен первый ловитель держателя объекта, а на второй - второй ловитель держателя объекта, сопряженный со вторым нагревателем. Подобное выполнение сверхвысоковакуумного сканирующего зондового микроскопа позволяет расширить функциональные возможности, повысить надежность и разрешающую способность устройства. 12 ил.	2152103 патент выдан: опубликован: 27.06.2000
	СКАНИРУЮЩИЙ ЗОНДОВЫЙ МИКРОСКОП Изобретение относится к нанотехнологическому оборудованию, к устройствам, обеспечивающим наблюдение, измерение и модификацию поверхности в многоигольчатом комплексном режиме работы. В сканирующем зондовом микроскопе, содержащем держатель объекта, сопряженный со сканером и устройством подвода, держатель зонда с пьезомодулем, механически сопряженный с зондом, а также источник излучения и приемник излучения, оптически сопряженные с зондом, введен трехкоординатный привод держателя зонда, зонд выполнен в виде набора модулей, состоящих из упругих элементов, причем каждый модуль имеет резонансную частоту, отличную от других. Подобное выполнение сканирующего микроскопа позволяет расширить функциональные возможности и повысить его надежность. 4 ил.	2152063 патент выдан: опубликован: 27.06.2000
	КАНТИЛЕВЕР ДЛЯ СКАНИРУЮЩЕГО ЗОНДОВОГО МИКРОСКОПА Изобретение относится к нанотехнологическому оборудованию, а именно к устройствам, обеспечивающим наблюдение, измерение и модификацию поверхности объектов в туннельном и атомно-силовом режимах. Предлагаемый кантилевер для сканирующего зондового микроскопа включает основание, к которому крепится балка, на дальнем от основания конце которой расположена игла. Балка кантилевера выполнена с поперечным утонением. Изобретение позволяет снизить паразитную поперечную чувствительность при сохранении высокой добротности собственных резонансных колебаний балки кантилевера. 2 з.п.ф-лы, 4 ил.	2124780 патент выдан: опубликован: 10.01.1999
	МНОГОЗОНДОВЫЙ КАНТИЛЕВЕР ДЛЯ СКАНИРУЮЩЕГО ЗОНДОВОГО МИКРОСКОПА Изобретение относится к нанотехнологическому оборудованию, а более конкретно к устройствам, обеспечивающим наблюдение, измерение и модификацию поверхности объектов в туннельном и атомно-силовом режимах. Изобретение позволяет уменьшить расстояние между соседними сканирующими иглами кантилевера, увеличить динамический диапазон измерений и снизить чувствительность к паразитным воздействиям (температура, изменение электрических свойств среды и т. п. ). Предлагаемый кантилевер содержит основание с укрепленными на нем балками произвольной формы, на дальнем от основания конце которых расположены иглы, причем концы игл лежат в одной плоскости, а каждая балка имеет собственную частоту колебаний, отличную от всех других. 3 з.п.ф-лы. 3 ил.	2124251 патент выдан: опубликован: 27.12.1998
	СПОСОБ ФОРМИРОВАНИЯ КАНТИЛЕВЕРА СКАНИРУЮЩЕГО ЗОНДОВОГО МИКРОСКОПА Способ включает формирование на верхней и нижней сторонах кремниевой подложки первого защитного покрытия на основе нитрида кремния. Из него на верхней стороне подложки формируют локальную нитридную маску. Анизотропным травлением кремния с верхней стороны подложки формируют иглообразный выступ. Удаляют локальную нитридную маску и первое защитное покрытие с нижней стороны подложки. Формируют с обеих сторон подложки слой двуокиси кремния. Из него на верхней стороне подложки формируют локальную окисную маску. Формируют легированием бором на верхней стороне подложки р⁺-диффузный слой. Удаляют локальную окисную маску и слой двуокиси кремния. Формируют второе защитное покрытие на основе нитрида кремния на нижней стороне подложки. Формируют из него локальную нитридную маску. Проводят селективное по отношению к р⁺-диффузному слою анизотропное травление кремния с обеих сторон подложки. Удаляют локальную нитридную маску. Обеспечивается воспроизводимость длины кремниевой балки и физико-механических параметров. 13 ил.	2121657 патент выдан: опубликован: 10.11.1998
	СКАНИРУЮЩИЙ ЗОНДОВЫЙ МИКРОСКОП И СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ СВОЙСТВ ПОВЕРХНОСТЕЙ ЭТИМ МИКРОСКОПОМ Использование: измерительная техника при исследовании свойств поверхностей. Сущность изобретения: в микросхеме зонд с проводящей иглой выполнен в виде резонатора, подключен к схеме возбуждения колебаний и снабжен устройством для измерения частоты и амплитуды колебаний зонда. Способ измерения свойств поверхности заключается в том, что прикладывают постоянное напряжение между иглой и образцом, зонд приводят в колебания схемой возбуждения и сканируют образец при поддержании постоянного значения амплитуды или частоты колебаний или тока между иглой и образцом. Измеряемые при этом сигнал на механизм перемещения зонда, значения амплитуды и частоты колебаний зонда и значение силы тока, текущего через иглу и образец, используют для определения топологии, механических и электрических свойств поверхности. 2 с. и 1 з. п. ф-лы, 6 ил.	2109369 патент выдан: опубликован: 20.04.1998
	КОМБИНИРОВАННЫЙ СКАНИРУЮЩИЙ ТУННЕЛЬНЫЙ МИКРОСКОП - РАСТРОВЫЙ ЭЛЕКТРОННЫЙ МИКРОСКОП Использование: для топографии и анализа состав поверхности. Сущность изобретения: комбинированный сканирующий - растровый электронный микроскоп (СТМ-РЭМ) содержит вакуумную камеру, в которой размещена головка СТМ со столиком для установки образца, при этом РЭМ и СТМ подключены к блоку управления, обеспечивающего их совместную работу, а грубый привод перемещения иглы головки СТМ выполнен в виде параллелепипеда, закрепленного посредством электростатических зажимов, соединенных с металлическим диском, который зажат через изолирующие прокладки в металлических шайбах, закрепленных на верхнем торце трубчатого пьезопривода грубого перемещения. 4 ил.	2089968 патент выдан: опубликован: 10.09.1997
	СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ТОПОГРАФИИ ПОВЕРХНОСТИ ВЕЩЕСТВА ПОСРЕДСТВОМ СКАНИРУЮЩЕГО ТУННЕЛЬНОГО МИКРОСКОПА Относится к области приборостроения, в частности к сканирующей туннельной микроскопии, используемой для исследования поверхности проводящих веществ. Способ определения топографии поверхности вещества посредством сканирующего туннельного микроскопа заключается в том, что поверхность исследуемого вещества сканируют металлической иглой в режиме постоянного туннельного тока, для чего в каждой точке сканирования производят вертикальное перемещение иглы относительно исследуемой поверхности так, чтобы туннельный ток в каждой точке сканирования равнялся величине туннельного тока в первой точке сканирования, при этом данные о микроструктуре поверхности исследуемого вещества получают, регистрируя перемещение иглы, дополнительно каждую точку сканирования посредством сканирующего туннельного микроскопа после установления иглы в положение, соответствующее необходимой величине туннельного тока, зондируют СВЧ сигналом при помощи металлической иглы сканирующего туннельного микроскопа, установленной в вершине конической поверхности коаксиального СВЧ резонатора, в который помещают исследуемое вещество, регистрируют изменения СВЧ сигнала, определяют диэлектрическую проницаемость исследуемого вещества, по которой и по данным, полученным посредством сканирующего туннельного микроскопа формируют картину топографии исследуемого вещества. 1 ил.	2072581 патент выдан: опубликован: 27.01.1997
	ДЕТЕКТОР ОБРАТНО-ОТРАЖЕННЫХ ЭЛЕКТРОНОВ ДЛЯ РАСТРОВОГО ЭЛЕКТРОННОГО МИКРОСКОПА Использование: в области растровой электронной микроскопии, в частности в устройстве детектора сигнала обратно отраженных электронов (ООЭ) для послойной визуализации глубинной микроструктуры исследуемых объектов, имеющих преимущественно слоистую структуру: интегральных микросхем и других изделий микрои наноэлектроники. Сущность изобретения: для визуализации отдельных глубинных слоев исследуемого объекта при неразрушающей диагностике и тестировании детектор потока ООЭ для растрового электронного микроскопа состоит из набора N-комбинированных детектирующих слоев проводника с малым атомным номером (например, углерода в графитовой фазе) и диэлектрика с малым атомным номером (например, углерода в аморфной фазе), располагаемых вблизи и вокруг первичного пучка электронов. Общая толщина этой системы должна превышать глубину пробега электронов в материале детектора при используемом ускоряющем напряжении. Толщина каждого комбинированного слоя должна быть равна требуемому разрешению с поправкой на отношение атомных номеров материалов объекта и детектора. В данном случае происходит следующее: электроны, отразившиеся от различных глубинных слоев объекта 1 и, соответственно, имеющие соответствующие различные энергии выхода, поглощаются в различных детектирующих слоях проводника 2 (в опытной конструкции - углерод в графитовой фазе, слой толщиной 0,5 мкм), разделенных промежуточными слоями диэлектрика 3 (в опытной конструкции - углерод в аморфной фазе, слой толщиной 0,5 мкм). Селекция электронов, прошедших по преимущественно прямолинейным траекториям внутри объекта, осуществляется благодаря расположению детектора в непосредственной близости или вокруг первичного электронного пучка 4. Те электроны, которые поглощаются в слоях проводника, регистрируются в одном из каналов многоканального усилителя постоянного тока 5. Регистрируемый в некотором канале ток ООЭ в основном соответствует изображению отдельного глубинного слоя объекта, глубина залегания и толщина которого определяются расчетным образом, исходя из номера слоя проводника (т.е. его расстояния от поверхности детектора) и его толщины. 1 з.п.ф-лы, 1 ил.	2069412 патент выдан: опубликован: 20.11.1996
	СКАНИРУЮЩИЙ ТУННЕЛЬНЫЙ МИКРОСКОП И ГОЛОВКА ДЛЯ НЕГО (ВАРИАНТЫ) 1. Сканирующий туннельный микроскоп, содержащий головку, включающую сканер с измерительным зондом, инерционный пьезодвижитель с установленным на нем держателем образца, систему управления пьезодвижителем и присоединенные своими цифровыми входами непосредственно к ЭВМ и первыми аналоговыми выходами через канал обработки данных к ЭВМ канал туннельного тока, соединенный с измерительным зондом и имеющий второй выход на электрод сканера канала Z, каналы координат X и Y, имеющие вторые выходы на соответствующие электроды сканера, канал туннельного напряжения, имеющий второй выход на образец, канал высокого напряжения, включающий блок питания высокого напряжения и имеющий второй выход на систему управления пьезодвижителем, отличающийся тем, что он дополнительно содержит контрольный зонд, расположенный в головке в непосредственной близости от измерительного зонда, систему реле, первое из которых размещено в канале туннельного тока между входом от измерительного зонда и шиной "Земля", а второе выполнено с возможностью подключения к образцу либо канала туннельного напряжения, либо канала высокого напряжения, генератор импульсов, введенный в канал высокого напряжения и связанный своим входом с блоком питания высокого напряжения и имеющий выход через второе реле на образец для проведения литографии, причем измерительный и контрольный зонды соединены с входом канала туннельного тока, выполненным дифференциальным, а система управления пьезодвижителем размещена непосредственно на пьезодвижителе. 2. Микроскоп по п.1, отличающийся тем, что головка содержит заглушку, закрепленную на нижней части сканера, который выполнен в виде полого цилиндра из пьезокерамики со сплошным электродом, напыленным на его внутренней стенке, электродом канала Z , выполненным в виде кольца, напыленного на внешнюю стенку цилиндра, и четырьмя электродами канала координат X и Y, выполненными в виде секторов, напыленных на внешнюю стенку цилиндра, при этом измерительный и контрольный зонды закреплены в заглушке. 3. Микроскоп по п.1, отличающийся тем, что головка содержит заглушку, закрепленную на нижней части сканера, который выполнен в виде полого цилиндра из пьезокерамики со сплошным электродом, напыленным на его внутренней стенке, электродом канала Z, выполненным в виде кольца, напыленного на внешнюю стенку цилиндра, и четырьмя электродами канала координат X и Y, выполненными в виде секторов, напыленных на внешнюю стенку цилиндра, атомарно-острую иглу, установленную в держателе с штырем, который закреплен в заглушке, пластину, установленную в держателе, на которой размещены гнездо для подвода туннельного напряжения, и зажим для закрепления кантелевера с дополнительным измерительным зондом. 4. Головка сканирующего туннельного микроскопа, содержащая сканер, выполненный в виде полого цилиндра из пьезокерамики со сплошным электродом, напыленным на его внутренней стенке, и с напыленными на внешнюю стенку цилиндра сканера электродом, выполненным в виде кольца, и четырьмя электродами, выполненными в виде секторов, заглушку, установленную в нижней части сканера, и измерительный зонд, закрепленный в заглушке и выполненный с игольчатым острием, отличающаяся тем, что она дополнительно содержит контрольный зонд, установленный в заглушке в непосредственной близости от измерительного зонда, при этом оба зонда выполнены с возможностью подключения к дифференциальному входу канала туннельного тока микроскопа. 5. Головка сканирующего туннельного микроскопа, содержащая сканер, выполненный в виде полого цилиндра из пьезокерамики со сплошным электродом, выполненным в виде кольца, и четырьмя электродами, выполненными в виде секторов, заглушку, установленную в нижней части сканера, и первый измерительный зонд, закрепленный в заглушке, отличающаяся тем, что она дополнительно содержит атомарно-острую иглу, установленную в держателе с штырем, который закреплен в заглушке, и пластину, установленную в держателе, на которой размещены гнездо для подвода туннельного напряжения и зажим для закрепления кантелевера с вторым измерительным зондом, при этом первый измерительный зонд выполнен с возможностью подключения к дифференциальному входу канала туннельного микроскопа.	2069056 патент выдан: опубликован: 10.11.1996
	МИКРОМАНИПУЛЯТОР ДЛЯ ПОЗИЦИОНИРОВАНИЯ ЗОНДА Изобретение относится к устройствам, предназначенным для точного дистанционного позиционирования зонда, и может быть использовано в приборах для локального анализа поверхностей, например в туннельном или атомно-силовом микроскопе. Изобретение решает задачу создания микроманипулятора для позиционирования зонда не только в горизонтальной плоскости, но и в вертикальном направлении без ухудшения параметров устройства, а также уменьшения жесткости требований, предъявляемых к юстировке горизонтальной поверхности. Предлагаемый микроманипулятор содержит пластину, располагающуюся горизонтально, по крайней мере три пьезоэлектрических кинематических элемента, по крайней мере один сканирующий пьезоэлектрический элемент. Поставленная задача решается за счет того, что у всех пьезоэлектрических кинематических элементов центр тяжести смещен по направлению к горизонтальной поверхности, а также тем, что к сканирующему пьезоэлектрическому элементу прикреплено опорно-прижимное устройство, удерживающее держатель зонда так, что при приложении к нему соответствующего усилия он может проскальзывать в вертикальном направлении относительно опор опорно-прижимного устройства. Кроме того, предложенное устройство позволяет устанавливать в держатель зонда как зонд туннельного микроскопа, так и зонд атомно-силового микроскопа. 4 з. п. ф-лы, 9 ил.	2056666 патент выдан: опубликован: 20.03.1996
	ЭЛЕКТРОННЫЙ МИКРОСКОП Использование: изобретение относится к электронной микроскопии. Сущность изобретения: в электронном микроскопе держатель образца помещен в газовую атмосферу камеры при давлении газа не менее 0,05 Торр. При этом электрод-тедектор установлен на расстоянии 1 - 200 мм от уровня поверхности образца, а напряжение на него подано от регулируемого источника 50 - 2000 В для предотвращения зажигания самостоятельного раздира в газе камеры. 1 ил.	2020643 патент выдан: опубликован: 30.09.1994
	ИМПУЛЬСНАЯ СИСТЕМА ДЛЯ ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВЫХ МИКРОЗОНДОВЫХ ПРИБОРОВ Область использования: электронно- и ионнолучевые микрозондовые системы. Сущность изобретения: система содержит электронную пушку 1, первый конденсатор 2, второй конденсатор 3, стробсистему 4, обрезающую диафрагму 5, объективную линзу 6, растровую систему 7, квадрупольные отклоняющие системы 8, дополнительный электромеханический отклоняющий элемент 9 с соответствующими связями. 3 з.п. ф-лы, 1 ил.	2019885 патент выдан: опубликован: 15.09.1994
	КОРПУСКУЛЯРНО-ЛУЧЕВОЙ ТЕСТЕР Использование: в контрольно-измерительной технике, в частности, при диагностике электронно- и ионнолучевых систем. Сущность: тестер содержит зондоформирующую систему 1, два управляющих электрода 2 и 3, тормозной электрод 4, вытягивающий электрод 5, объектодержатель 6, коллекторный электрод 7, преобразователь 8 электронов 8, генератор 12 питающих напряжений, источники 10, 11, 13, 14 напряжений электродов. Для повышения линейности функции преобразования тестера источники питания всех электродов, кроме источника 5, включены последовательно с источником напряжения тормозного электрода. Кроме того, для повышения линейности над тормозным электродом размещен квазисферический сеточный электрод, находящийся под определенным потенциалом. 1 з.п. ф-лы, 2 ил.	2019884 патент выдан: опубликован: 15.09.1994
	СПОСОБ КОНТРОЛЯ ПРОВОДЯЩЕЙ ПОВЕРХНОСТИ Использование: изобретение относится к электронной технике и может быть применено в сканирующих микроскопах. Цель изобретения - повышение производительности контроля. Сущность изобретения: согласно способу электрод перемещают по круговым концентрическим траекториям, радиусы которых удовлетворяют условию, описанному в описании, и измеряют напряжение между электродом и поверхностью, требуемое для получения фиксированного тока автоэлектронной эмиссии. 2 ил.	2019883 патент выдан: опубликован: 15.09.1994