Разрядные приборы с устройствами для ввода объектов или материалов, подлежащих воздействию разряда, например с целью их исследования или обработки: ..для литья, расплавления, испарения, гравировки или травления – H01J 37/305
Раздел H ЭЛЕКТРИЧЕСТВО
H01 Основные элементы электрического оборудования
H01J Электрические газоразрядные и вакуумные электронные приборы и газоразрядные осветительные лампы
H01J 37/00 Разрядные приборы с устройствами для ввода объектов или материалов, подлежащих воздействию разряда, например с целью их исследования или обработки
H01J 37/305 ..для литья, расплавления, испарения, гравировки или травления
Патенты в данной категории
| УСОВЕРШЕНСТВОВАНИЕ ПРОЦЕССА УДАЛЕНИЯ РЕЗИСТА В УСТАНОВКЕ ДЛЯ ТРАВЛЕНИЯ ДИЭЛЕКТРИКА С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ ПУЧКА ПЛАЗМЫ
Изобретение относится к области изготовления полупроводниковых приборов. Объектами изобретения являются способ и устройство для травления диэлектрика, удаления маски для травления и очистки камеры травления. В камере травления 40 размещают полупроводниковую пластину 56. Выполненный на полупроводниковой пластине диэлектрик 58 подвергают травлению, используя локальную плазму, полученную с помощью специального приспособления для получения локальной плазмы в камере травления. Маску для травления 60 удаляют с помощью плазмы от автономного источника 54, генерируемой в устройстве для получения плазмы от автономного источника, соединенном с камерой травления. Камеру травления после удаления полупроводниковой пластины подвергают очистке, используя при этом или локальную плазму, или плазму от автономного источника. Для достижения более высокой степени очистки может быть использован нагреватель, обеспечивающий нагрев стенки камеры. 2 н. и 12 з.п. ф-лы, 4 ил. |
2279732 патент выдан: опубликован: 10.07.2006 |
|
| МАРКИРОВАНИЕ АЛМАЗА Маркирование алмаза для повышения качества алмаза осуществляют посредством сфокусированного ионного пучка, в котором маркировка невидима невооруженным глазом. 7 с. и 37 з.п. ф-лы. | 2199447 патент выдан: опубликован: 27.02.2003 |
|
| СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ Сущность изобретения: полое изделие размещают в вакуумной камере, инициируют между катодом и анодом вакуумную дугу, включающую прикатодный участок, переходную зону и столб дуги с проходящей по центру дуги зоной проводимости, после инициирования дуги, перемещая анод, дугу размещают внутри изделия, при этом предварительно устанавливают расстояние между катодом и торцем изделия, исходя из условия размещения внутри изделия столба дуги, а переходной зоны за его пределами. На дугу дополнительно воздействуют однородным продольным магнитным полем и устанавливают диаметр зоны проводимости не более диаметра анода. Для реализации способа используют устройство, содержащее вакуумную камеру, соосно размещенные в ней анод и катод, а также подложкодержатель. Устройство дополнительно содержит охватывающую вакуумную камеру, магнитную систему для создания однородного продольного магнитного поля, датчик диаметра зоны проводимости дуги, измерительный генератор, включающий колебательный контур, блок обработки сигнала датчика и регистрирующий прибор. Датчик выполнен в виде катушки индуктивности, установленной соосно с анодом и катодом и входящей в колебательный контур измерительного генератора, который связан с блоком обработки сигнала датчика, связанным с регистрирующим прибором. 2 с. и 4 з.п.ф-лы. 2 ил, 1 табл. | 2091989 патент выдан: опубликован: 27.09.1997 |
|
| СПОСОБ ФОРМИРОВАНИЯ ЛЕНТОЧНОГО ЭЛЕКТРОННОГО ЛУЧА Использование: электронная пушка с изменяемым взаимным расположением протяженных катода и модулятора относится к электронной технике и может быть использована для электронно-лучевых процессов отжига, полировки и упрочнения изделий оптики, микроэлектроники и машиностроения. Цель изобретения - расширение возможностей регулирования параметров электронного луча ленточной формы. Сущность изобретения: электронная пушка содержит протяженный катод, закрепленный своими концами в катодных стойках, протяженные вдоль катода анод и модулятор, а также элементы и узлы для перемещения плоскостей модулятора и катодных стоек относительно друг друга. Новым в предложенной электронной пушке является то, что плоскости модулятора и катодные стойки выполнены с возможностью относительного перемещения, пушка снабжена элементами и узлами для вращения плоскостей модулятора, расположенных под углом друг к другу, в направлении изменения этого угла, для перемещения плоскостей модулятора к катоду и от него и для перемещения катодных стоек к аноду и от него, причем узлы перемещения выполнены с возможностью преобразования регулирующего вращательного движения в поступательное перемещение, элементы приводов узлов перемещения выполнены с учетом передачи движения через стенку вакуумной камеры, а сама электронная пушка установлена в отдельной камере, которая связана с основной вакуумной камерой проемом и расположена своим корпусом снаружи. 2 ил. | 2028692 патент выдан: опубликован: 09.02.1995 |
|
| УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАГРЕВА И ПЛАВЛЕНИЯ ТУГОПЛАВКОГО ВЕЩЕСТВА Использование: в области технологии, связанной с тепловой обработкой, плавлением материалов. Наиболее эффективно его использование для выращивания монокристаллов тугоплавких веществ, особенно неэлектропроводящих. Сущность изобретения: устройство для нагрева и плавления тугоплавкого вещества потоком ускоренных электронов состоит из тигля и источника электронов, при этом источник электронов - эмиттер - выполнен в виде электрически изолированной от стенок тигля металлической оболочки, которая охватывает тигель снаружи и образует с его сторонами герметичный зазор, содержащий наполнение в виде щелочного или щелочно-земельного металла. Устройство отличается также тем, что наполнение находится в резервуаре, сообщающемся с полостью зазора, а также тем, что металлическая оболочка снабжена нагревателем и холодильником. Герметичный зазор в устройстве выполнен с непрерывно или ступенчато изменяющейся по высоте тигля шириной. 3 з. п. ф-лы, 1 ил. | 2007778 патент выдан: опубликован: 15.02.1994 |
|