Разрядные приборы с устройствами для ввода объектов или материалов, подлежащих воздействию разряда, например с целью их исследования или обработки: ..для резания или сверления – H01J 37/31

Изобретение относится к способу и устройству получения поверхностей трения с газодинамическими канавками и может найти использование в машиностроении при производстве колец бесконтактных торцовых уплотнений перекачивающих компрессоров, упорных подпятников и подшипников, работающих на газовой смазке. Способ включает ионно-плазменное травление поверхности через окна в шаблонной маске, которую предварительно накладывают на обрабатываемую поверхность. На поверхности шаблонной маски размещают экранирующую маску с окнами. В процессе травления окна шаблонной маски периодически перекрывают краями окон экранирующей маски путем перемещения экранирующей маски против или по часовой стрелке на угол, кратный шагу размещения газодинамических канавок на поверхности трения. Затем перемещают обе маски в одном направлении на угол, соответствующий угловому шагу размещения газодинамических канавок на поверхности трения, и осуществляют повторное ионно-плазменное травление. В устройстве предусмотрен механизм перемещения экранирующей маски относительно шаблонной маски. Очертания окон экранирующей маски выполнены с различным радиусом кривизны. Механизм перемещения экранирующей маски выполнен с возможностью задания ей возвратно- качательного движения на вышеупомянутый угол. В результате получают канавки с наклонным дном по ширине канавки в тангенциальном направлении и канавки с наклонным дном по ширине канавки в тангенциальном и радиальном направлениях. 2 н.п. ф-лы, 18 ил.