Способы и устройства для изготовления цепей с активными и реактивными сопротивлениями, резонансных контуров или резонаторов: ..для изготовления пьезоэлектрических и электрострикционных резонаторов или цепей (схем) – H03H 3/02

Использование: область микроэлектроники, способы изготовления кристаллических элементов (КЭ) пьезоэлектрических приборов. Повышение точности формирования объемной микроструктуры и качества поверхности кварцевого элемента является техническим результатом изобретения. Способ изготовления КЭ Z-среза включает механическую и химическую очистку кварцевой пластины, нанесение защитных металлизированных слоев на кварцевую пластину, групповое формирование топологии защитных металлизированных слоев методом фотолитографии, формирование объемной микроструктуры заданного рельефа травлением, удаление защитных слоев травлением и получение электродной системы, при этом в предложенном способе кварцевую пластину подвергают ультразвуковому воздействию и последовательной обработке в растворах щелочных, кислотных реагентов с промывкой в дистиллированной воде и сушке в парах спирта, после чего на нее наносят двухсторонний тонкопленочный слой Cr-Au, фотолитографией формируют топологию защитной маски, наносят второй защитный слой из меди, проводят химико-динамическое и плазмохимическое травление, удаляют защитные металлизированные слои, повторно наносят тонкопленочное покрытие Cr-Au на кварцевую пластину и методом фотолитографии формируют топологию электродной системы и контактных площадок с последующим разделением кварцевой пластины на отдельные элементы. 2 з.п. ф-лы, 3 пр., 7 ил.

Изобретение относится к пьезотехнике и может использоваться в производстве фильтровых и генераторных резонаторов из кварца и сильных пьезоэлектриков. Техническим результатом изобретения является повышение надежности защитного покрытия высокочастотных резонаторов путем оптимизации толщины адгезионного подслоя на операциях напыления защитного и электродного покрытия, а также повышение производительности изготовления резонаторов за счет оптимизации состава раствора для удаления покрытий. Способ изготовления пьезоэлементов (ПЭ) для высокочастотных резонаторов включает механическую шлифовку и полировку пластин из пьезоэлектриков, напыление на пластины металлических пленок защитного покрытия с адгезионным подслоем ванадия, формообразование кристаллических элементов химическим травлением, удаление защитного покрытия в растворах кислот и напыление электродов с адгезионным подслоем ванадия на кристаллические элементы, причем при напылении защитного покрытия толщина пленки ванадия составляет 5-10 нм, а при напылении электродов пленки ванадия наносят с толщиной 15-20 нм, при этом удаление защитного покрытия и электродов при необходимости осуществляют в водном растворе, содержащем 0,4-0.5% об. HCl и 4-7% об. H ₂O₂. 1 з.п. ф-лы, 6 ил., 2 табл.

Изобретение относится к области радиотехники, в частности к пьезотехнике, и может быть использовано при разработке кварцевых резонаторов, используемых в высокостабильных кварцевых генераторах, применяемых в связной аппаратуре и навигационной аппаратуре. Технический результат - обеспечение распознавания знаков угла среза кварцевых кристаллов на стадии финишной операции изготовления кварцевого кристалла. Это обеспечивает снижение материальных и трудовых затрат при изготовлении пьезоустройства. Способ изготовления кварцевых кристаллических элементов для пьезоустройств с пьезовибраторами стержневого типа и углом ух1/±45°, при котором кварцевое сырье распиливают на блоки, блоки разрезают на заготовки, измеряют углы среза последних, при необходимости углы среза подвергают соответствующей коррекции путем подшлифовки, в результате механической обработки заготовок получают кристаллический элемент заданной геометрической формы, обработку кристаллических элементов заканчивают травлением их в плавиковой кислоте, затем кристаллические элементы отжигают, медленно охлаждают и передают кристаллические элементы на дальнейшие операции, после отжига и медленного охлаждения кристаллические элементы поочередно возбуждают в поле накладных электродов и с помощью спектроанализатора измеряют резонансные частоты толщинно-сдвиговых колебаний, определяют отношение более высокой резонансной частоты fв к более низкой частоте fн и сравнивают измеренное отношение частот с интервалом значений 1,513÷1,521, при величине отношения fв/fн меньше значения 1,513 заготовка имеет угол среза ух1/+45 ч, при величине отношения fв/fн больше значения 1,521 заготовка имеет угол среза ух1/-45°. 4 ил.

Изобретение относится к области электротехники, в частности к пьезотехнике, и может быть использовано для изготовления кристаллических элементов (КЭ) высокочастотных резонаторов, включая и прецизионные. Способ изготовления кристаллических элементов включает химико-динамическое травление плоской заготовки в жидком травителе с круговым вращением заготовки с частотой 0,3÷0,53 с^-1 и одновременным возвратно-поступательным перемещением, угол атаки потока травителя относительно поверхности заготовки выбирают в пределах 2÷17° и обеспечивают плавание заготовки преимущественно в горизонтальной плоскости во время поворота на 270÷300° при обороте кругового вращения и одновременное вращение заготовки относительно оси симметрии, нормальной ее плоскости. Устройство для изготовления кристаллических элементов содержит сосуд с жидким травителем, помещенный в термостат, подъемно-вращательный механизм, содержащий электродвигатель, на оси которого закреплен кулачок, механически связанный с подвижным роликом, и кассету этажерного типа с ячейками для укладки заготовок, круговой выступ кулачка имеет пологий склон на угловой длине 270÷300° так, что обеспечивается угол атаки 2÷17° потока травителя относительно поверхности заготовок, и крутой склон, а ячейкам кассеты задают высоту 1,5÷3,0 мм. Техническим результатом изобретения является обеспечение высокого качества полирующего травления с одновременным упрощением технологии изготовления. 2 н.п. ф-лы, 10 ил.