способ получения электронного луча

Классы МПК:H01J37/28 со сканирующими лучами
Автор(ы):, ,
Патентообладатель(и):Московский государственный институт электроники и математики (технический университет)
Приоритеты:
подача заявки:
2000-04-14
публикация патента:

Изобретение относится к области электроники, а именно к способам получения электронного пучка. В способе получения электронного луча путем облучения катода электромагнитным излучением катод облучают лазерным лучом, а полученный электронный луч пропускают через одну магнитную линзу, полюса которой располагают по направлению движения электронов, две монополярные конденсаторные линзы и две диполярные, причем первую от катода монополярную конденсаторную линзу заряжают положительно, а вторую - отрицательно, первую и вторую диполярные линзы устанавливают во взаимно перпендикулярных направлениях с возможностью механической коррекции их взаимного расположения. Техническим результатом является получение электронного луча с электронами практически одинаковых кинетичеких энергий и импульсов, что обеспечивает минимальную хроматическую оберрацию и повышает разрешающую способность электронно-оптической системы. 1 ил.
Рисунок 1

Формула изобретения

Способ получения электронного луча путем облучения катода электромагнитным излучением, отличающийся тем, что катод облучают лазерным лучом, а полученный электронный луч пропускают через одну магнитную линзу, полюса которой располагают по направлению движения электронов, две монополярные конденсаторные линзы и две диполярные, причем первую от катода монополярную конденсаторную линзу заряжают положительно, а вторую - отрицательно, первую и вторую диполярные линзы устанавливают во взаимно перпендикулярных направлениях с возможностью механической коррекции их взаимного расположения.

Описание изобретения к патенту

Изобретение относится к области электроники, а именно к способам получения электронного пучка.

Известен способ получения электронного пучка путем термоэлектронной эмиссии. (Черняев В.Н. Технология производства интегральных микросхем и микропроцессоров: Учебник для вузов - 2-е изд., перераб. и доп. - М., Радио и связь, 1987 г., - 484 стр.: ил. стр. 248, рис. 11.1б).

Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату является способ получения электронного луча путем облучения катода электромагнитным излучением (Черняев В.Н. Технология производства интегральных микросхем и микропроцессоров: Учебник для вузов - 2-е изд., перераб. и доп. -М., Радио и связь, 1987 г., -484 стр.: ил. стр. 248, рис. 11. la).

Недостатком вышеописанных способов является наличие хроматической аберрации, которая ограничивает разрешающую способность электронно-оптической системы.

Изобретение направлено на решение следующей технической задачи: добиться минимальной хроматической аберрации при увеличении разрешающей способности реальной оптической системы.

Поставленная задача достигается тем, что в способе получения электронного луча путем облучения катода электромагнитным излучением катод облучают лазерным лучом, а полученный электронный луч пропускают через одну магнитную линзу, полюса которой располагают по направлению движения электронов, две монополярные конденсаторные линзы и две диполярные, причем первую от катода монополярную конденсаторную линзу заряжают положительно, а вторую - отрицательно, первую и вторую диполярные линзы устанавливают во взаимно перпендикулярных направлениях с возможностью механической коррекции их взаимного расположения. Это позволяет получать электронный луч с электронами практически одинаковых кинетических энергий и импульсов, что и обеспечивает минимальную хроматическую аберрацию и повышает разрешающую способность электронно-оптической системы.

Изобретение поясняется чертежом, где представлена схема электронно-оптической системы, реализующей предлагаемый способ получения электронного луча.

Электронно-оптическая система содержит вакуумный объем 1, катод 2, анод 3, источник лазерного излучения 4. Катод 2, анод 3 и источник лазерного излучения 4 расположены в вакуумном объеме 1. Внутри вакуумного объема 1 расположена магнитная линза 5, полюса 6 и 7 которой расположены вдоль тракта движения электронов 8. После магнитной линзы 5 по тракту движения электронов 8 расположены две монополярные конденсаторные линзы 9 и 10, причем линза 9 заряжена положительно, а линза 10 - отрицательно. После монополярных линз 9 и 10 по тракту движения электронов 8 расположены две диполярные линзы 11 и 12, установленные во взаимно перпендикулярных направлениях с возможностью механической коррекции их взаимного расположения посредством двухкоординатной системы корректировки 13.

Способ реализуется следующим образом.

На катод 2 подают луч лазера от источника излучения 4, который обладает высокой когерентностью. Образованный за счет фотоэффекта луч пропускают через магнитную линзу 5, две монополярные конденсаторные линзы 9, 10 и две диполярные линзы 11 и 12.

При движении электронов в магнитном поле линзы 5 строго параллельно силовым магнитным линиям сила Лоренца на них не действует, а будет действовать лишь на те электроны, которые имеют отклонение от параллельного движения вдоль силовых магнитных линий. Эти "неправильные электроны" будут удаляться из электронного луча 8. При движении электронного луча 8 через монополярную конденсаторную линзу 9 электроны ускоряются, а при движении электронного луча 8 через монополярную конденсаторную линзу 10 образуется узконаправленный пучок, отклонение которого осуществляется посредством диполярных линз 11, 12 и двухкоординатной системой корректировки 13.

Применение предложенного способа получения электронного луча обеспечивает снижение хроматической аберрации электронного луча за счет использования лазерного источника излучения и особым образом расположенных монополярных и диполярных конденсаторных линз. При этом данный способ позволяет существенно повысить разрешающую способность всей электронно-оптической системы.

Класс H01J37/28 со сканирующими лучами

способ определения рельефа поверхности -  патент 2479063 (10.04.2013)
способ томографического анализа образца в растровом электронном микроскопе -  патент 2453946 (20.06.2012)
сканирующий зондовый микроскоп -  патент 2334214 (20.09.2008)
электромагнитный фильтр для разделения электронных пучков -  патент 2305345 (27.08.2007)
инерционный двигатель -  патент 2297072 (10.04.2007)
способ определения нанорельефа подложки -  патент 2280853 (27.07.2006)
сканирующий зондовый микроскоп, совмещенный с устройством механической модификации поверхности объекта -  патент 2233490 (27.07.2004)
сканирующий зондовый микроскоп с системой автоматического слежения за кантилевером -  патент 2227333 (20.04.2004)
способ получения ионного луча -  патент 2219618 (20.12.2003)
способ изготовления наночастиц или нитевидных нанокристаллов, способ изготовления неорганических фуллереноподобных структур халькогенида металла, неорганические фуллереноподобные структуры халькогенида металла, стабильная суспензия if-структур халькогенида металла, способ изготовления тонких пленок из if-структур халькогенида металла и тонкая пленка, полученная таким способом, и насадка для растрового микроскопа -  патент 2194807 (20.12.2002)
Наверх