способ нанесения покрытия из палладия и его сплавов на металлические детали
Классы МПК: | C23C18/42 покрытие благородными металлами C23C18/48 покрытие сплавами |
Автор(ы): | Струкова Галина Кузьминична (RU), Струков Геннадий Васильевич (RU), Кедров Виктор Викторович (RU) |
Патентообладатель(и): | Институт физики твердого тела РАН (RU) |
Приоритеты: |
подача заявки:
2005-02-08 публикация патента:
10.02.2007 |
Изобретение относится к области нанесения покрытий из палладия и его сплавов с благородными (серебро, золото, платина, родий, рутений) и некоторыми неблагородными металлами (медь, сурьма, висмут, олово, свинец, никель) и может быть использовано в микроэлектронике, электротехнике, в электрохимических аппаратах и устройствах. Способ включает обезжиривание, химическое травление и/или активирование, промывку и обработку деталей металлирующим раствором нецианистых солей осаждаемых металлов - нитратов, галогенидов в органическом растворителе из группы алкилфосфатов, серосодержащих растворителей, уксусной кислоты и/или пропиленкарбоната при температуре 20-150°С, при этом в металлирующий раствор дополнительно вводят добавку хлорида, бромида или роданида аммония и добавку одноатомного или многоатомного спирта. Технический результат: создание нового способа, позволяющего наносить на металлические детали тонкослойные адгезионно-прочные покрытия из палладия и его сплавов, регулировать толщину покрытия, его физико-химические свойства и повысить устойчивость к износу при различных видах воздействия. 1 з.п. ф-лы, 2 табл.
Формула изобретения
1. Способ нанесения покрытия из палладия и его сплавов на металлические детали, включающий обезжиривание, химическое травление и/или активирование, промывку и обработку деталей металлирующим раствором нецианистых солей осаждаемых металлов - нитратов, галогенидов в органическом растворителе из группы алкилфосфатов, серосодержащих растворителей, уксусной кислоты и/или пропиленкарбоната при температуре 20-150°С, отличающийся тем, что в металлирующий раствор дополнительно вводят добавку хлорида, бромида или роданида аммония и добавку одноатомного или многоатомного спирта.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что в металлирующий раствор в качестве добавки одноатомного или многоатомного спирта вводят этиловый спирт, изопропиловый спирт или глицерин.
Описание изобретения к патенту
Изобретение относится к нанесению покрытий из палладия и его сплавов с благородными (серебро, золото, платина, родий, рутений) и некоторыми неблагородными металлами (сурьма, висмут, свинец, олово, никель, медь) на детали из меди и медных сплавов, никеля и его сплавов, черных, малоуглеродистых, легированных и нержавеющих сталей. Такие покрытия находят применение в микроэлектронике (печатные платы), в электротехнике (контакты, коммутирующие элементы, провода), в электрохимических аппаратах и устройствах (аноды, биполярные пластины и сепараторы электролизеров). Тонкослойное палладиевое покрытие используется также в качестве промежуточного барьерного слоя, тормозящего диффузию металлов подложки и покрытия, например меди из подложки в золотое или серебряное покрытие. Тонкослойные покрытия из палладия и его сплавов представляют интерес для активно разрабатываемых в настоящее время устройств водородной энергетики, в частности термодиффузионных фильтров очистки водорода.
Наиболее распространенным методом нанесения покрытий из палладия и его сплавов на металлические детали является электроосаждение (гальванический метод) из водных растворов электролитов [Н.Ф.Мелащенко. Гальванические покрытия благородными металлами. Справочник. М., Машиностроение, 1993].
Разработаны также водные электролиты для электроосаждения сплавов палладий-никель, палладий-кобальт, палладий-индий, нашедших применение в технике. Недостатком гальванического палладирования из водных растворов является то, что совместно с электроосаждением покрытия на катоде выделяется водород, при этом палладий наводораживается, что приводит к внутренним напряжениям в покрытии, растрескиванию, пористости и ухудшению физико-механических свойств покрытия. Кроме того, гальванический метод не применим для нанесения покрытия на детали сложной формы, имеющие внутренние поверхности, где электрическое поле отсутствует, а также для локальной металлизации, где затруднена подводка электрического контакта.
Известны бестоковый химический (автокаталитический) метод палладирования из водных растворов с использованием восстановителей (производные боргидридов, гипофосфит). [Н.Ф.Мелащенко. Гальванические покрытия благородными металлами. Справочник. М., Машиностроение, 1993; С.Я.Грилихес, К.И.Тихонов. Электролитические и химические покрытия. Ленинград, Химия, 1990]. Недостатком этого способа является низкая химическая стабильность растворов химического восстановления, что наряду с низкой скоростью нанесения и наводораживанием покрытия препятствует его широкому технологическому использованию. Кроме того, полученные этим способом палладиевые покрытия содержат до 15% примеси бора или фосфора, что снижает пластичность покрытий и резко сужает их область применения.
Известен способ нанесения покрытия из благородных металлов на металлические детали [пат. РФ №2112077]. Согласно патенту процесс осуществляют в неводных средах, что позволяет улучшить адгезию покрытия к подложке, а также избежать наводораживания и связанного с ним ухудшения физико-механических свойств покрытия (напряжения в покрытии, растрескивание). Способ нанесения покрытия из благородных металлов включает обезжиривание, химическое травление и/или активирование, промывку и обработку деталей металлирующим раствором. Существенными признаками способа являются обработка подготовленных металлических деталей при 20-150°С металлирующим раствором нецианистых солей металлов - нитратов, галогенидов в органическом растворителе из группы алкилфосфатов, например триметилфосфат, трибутилфосфат, серусодержащих растворителей, например сульфолан, и/или уксусная кислота, и/или этиленгликоль, и/или пропиленкарбонат.
По совокупности существенных признаков данное техническое решение наиболее близко к заявляемому изобретению и принято нами за прототип.
Однако способ-прототип не позволяет регулировать толщину покрытия и наносить покрытия из сплавов палладия с другими металлами.
Задачей предлагаемого изобретения является создание нового способа, позволяющего наносить на металлические детали тонкослойные адгезионно-прочные покрытия из палладия и его сплавов с благородными и некоторыми неблагородными металлами, регулировать толщину покрытия, его физико-химические свойства и повысить устойчивость к износу при различных видах воздействия.
Согласно изобретению для решения данной технической задачи в предлагаемом способе нанесения покрытий из палладия и его сплавов с благородными и неблагородными металлами на металлические детали, включающем операции подготовки деталей, например обезжиривание, химическое травление и/или активирование, промывку и обработку подготовленных деталей металлирующим раствором нецианистых солей осаждаемых металлов, например, нитратов, галогенидов в органическом растворителе из ряда алкилилфосфатов, серусодержащих растворителей, а также уксусной кислоты и/или пропиленкарбоната при температуре 20-150°С, в металлирующий раствор дополнительно вводят добавку хлорида, бромида или роданида аммония и добавку одноатомного или многоатомного спирта, например, этилового, изопропилового, глицерина. Отличительными признаками от способа-прототипа, обеспечивающими достижение задачи изобретения, является введение в состав металлирующего раствора добавки хлорида, бромида или роданида аммония и добавки одноатомного или многоатомного спирта, например этилового, изопропилового или глицерина. Способ с обработкой металлических деталей металлирующим раствором указанного состава неизвестен в научно-технической и патентной литературе и является новым.
Предлагаемый способ позволяет реализовать следующие преимущества по сравнению со способом-прототипом. Во-первых, позволяет целенаправленно получать ряд сплавов палладия с благородными и неблагородными металлами, конкретно покрытия из сплавов Pd-Au, Pd-Ag, Pd-Ru, Pd-Pt, Pd-Sb, Pd-Bi, Pd-Pb, т.е. сплавов с различной структурой и свойствами. Рентгенофазовый анализ показал, что сплав Pd-Au (пример 8) имеет структуру твердого раствора, а сплавы Pd-Bi (примеры 13, 14) и Pd-Pb (примеры 15, 16) образуют интерметаллические соединения. Температура плавления сплавов Pd-Pb и Pd-Bi на 300-600°С ниже, чем температура плавления чистого палладия, и это позволяет при термообработке покрытия достичь эффекта «лужения» поверхности детали палладиевым сплавом и получить сплошное беспористое покрытие.
При введении золота в сплав с палладием на 25-30% повышается пластичность покрытия, а при введении рутения на 10-15% повышается устойчивость к электроискровой эрозии электроконтактов. Покрытие на латунном электроконтакте из сплава серебра с 1-2% палладия при толщине 0,2-0,3 микрометра было испытано на специализированном предприятии и выдержало стандартные испытания на контактное сопротивление, влагостойкость, коррозионную устойчивость в соляном тумане и ресурс работы при многократном замыкании-размыкании.
Во-вторых, предлагаемый способ позволяет получать палладиевое покрытие, не содержащее примесей бора и фосфора, толщиной от 0,01 до 1 микрометра, что необходимо для решения целого ряда технических задач, например создания эффективных термодиффузионных фильтров водорода, защитных покрытий для деталей электролизеров и др.
В целом предлагаемое изобретение за счет введения указанных добавок солей и спиртов расширяет номенклатуру палладиевых покрытий, позволяет регулировать их толщину и другие технические характеристики покрытий, например устойчивость к различным видам износа, что и составляет технический результат изобретения.
Для каждого конкретного варианта в зависимости от металла подложки, требуемых толщин и состава покрытия подбирают состав металлирующего раствора и режим нанесения покрытия. В табл.2 приводим данные способа-прототипа и конкретные примеры осуществления предлагаемого способа.
Пример 1.
Металлические детали обезжиривают стандартными приемами [Гальванотехника. Справочник., М., «Металлургия», 1987] либо с помощью органического растворителя, либо химическим или электрохимическим обезжириванием, промывают водой, затем в спирте и в органическом растворителе, на основе которого составлен металлирующий раствор. После промывок деталь обрабатывают металлирующим раствором при температуре 20-150°С либо погружением в корзинах, либо в барабанах, либо с помощью иных подходящих технологических приемов. Как подготовительные операции, так и обработку металлирующим раствором проводят при механическом перемешивании раствора или при воздействии вибрации или ультразвуковых колебаний. Готовое покрытие после промывки и сушки может быть обработано известными приемами, улучшающими свойства покрытия, а именно механической обработкой, например галтовкой стеклянными или стальными шариками, крацеванием латунными или серебряными щетками, а также термической или химической (например, хроматирование) обработками. Конкретные примеры получения покрытий из палладия и его сплавов на различные металлические подложки приведены в табл.1 и 2.
Пример 2.
Нанесение покрытия из сплава палладий-серебро на фигурный медный диск диаметром 200 и толщиной 2 мм. Технологический процесс описан в табл.1
Таблица 1 | ||
№ | Операции | Выполнение |
1 | Обезжиривание | Протирка бязевым лоскутом с влажной венской известью 1-2 раза до полного смачивания поверхности детали водой |
2 | Промывка | Троекратным погружением в емкость с дистиллированной водой |
3 | Активирование | Погружение в 5-7% водный раствор соляной кислоты (ХЧ), 30-60 с |
4 | Водная промывка | Троекратным погружением в емкость с дистиллированной водой |
5 | Обезвоживание | Погружение на 30 с в емкость со спиртом высшей очистки |
6 | Нанесение покрытия | Погружение в металлирующий раствор: 17 г/л хлорида палладия (ХЧ), 1 г/л нитрата серебра и 10 г/л хлорида аммония (ХЧ) в триметилфосфате при температуре 70-75°С с выдержкой в течение 3 мин при покачивании детали |
7 | Промывка | Промывают последовательно в ванне с растворителем (около 1 мин) и двух ваннах с дистиллированной водой |
8 | Сушка | Промытую деталь сушат на воздухе |
Получают светлое однородное покрытие, адгезионная прочность 101 кг/см2. Покрытие содержит по данным рентгеноспектрального анализа 60 мас.% палладия и 40% серебра. Толщина покрытия 0,1-0,2 мкм.
Из табл.2 видно (см. примеры 2-5), что, вводя добавки хлорида, бромида или роданида аммония, а также добавки этилового спирта или глицерина, удается регулировать толщину палладиевого покрытия от 0,1 до 1,0 микрометра. Примеры 8, 12, 13, 15 показывают, что введение в металлирующий раствор добавки глицерина позволяет также увеличить толщину покрытия сплавами палладий-рутений до 0,4, палладий-висмут до 0,8 и палладий-свинец до 0,9-1,0 микрометра.
Таблица 2 | |||||||||||
№ | Подложка | Покрытие | Компонентный состав раствора | Режим нанесения покрытия | Характеристики покрытия | ||||||
Соль металла, г/л | Соль аммония, г/л | Растворитель, об.% | Добавка, об.% | Температура, °С | Время, мин | Толщина, мкм | Адгезион ная прочность, кг/см 2 | Сод. Pd в покрытии, мас.% | |||
1 | 2 | 3 | 4 | 5 | 6 | 7 | 8 | 9 | 10 | 11 | 12 |
Способ-прототип | |||||||||||
1 | Cu-Zn | Pd | Pd-ац. - 2 | - | УК-5 | - | 80 | 2 | 0,09 | 54 | 100 |
ПК-95 | |||||||||||
Предлагаемый способ | |||||||||||
2 | Cu-Zn | Pd | PdCl 2 - 0,5 | NH4Cl - 0,5 | ТМФ-80 | Сп-20 | 75 | 10 | 0,1 | 100 | 100 |
3 | Cu-Zn | Pd | Pd(NO3) 2 - 10 | NH4Br - 8 | ПК-75 | Сп-25 | 75 | 10 | 0,2 | 101 | 100 |
4 | Cu | Pd | Pd(NO3) 2 - 10 | NH4CNS - 8 | ПК-90 | ИС-10 | 90 | 10 | 0,4 | 109 | 100 |
5 | Cu-Zn | Pd | PdCl2 - 16,5 | NH4Cl - 10 | ТМФ-40 | Глиц.-20 | 90 | 10 | 1,9-2,0 | 105 | 100 |
ДМСО-40 | |||||||||||
6 | Cu-Zn | Pd-Au | PdCl2 - 1,1 | NH4Cl - 2 | ТБФ-98 | Сп-2 | 75 | 10 | 0,4 | 118 | 1,5 |
HAuCl4 - 10 | |||||||||||
7 | Fe-Cr-Al | Pd-Au | PdCl2 - 10 | NH4Cl - 6 | Сул-98 | Сп-2 | 75 | 10 | 0,1 | 120 | 80 |
HAuCl4 - 1,2 | |||||||||||
8 | Ni | Pd-Au | PdCl2 - 2 | NH4Cl - 4 | ТМФ-98 | Глиц.-2 | 90 | 3 | 0,7-0,8 | 150 | 4 |
HAuCl4 - 10 | |||||||||||
9 | Cu | Pd-Ag | Pd(NO3) 2 - 10 | NH 4Cl - 6 | ТМФ-95 | - | 75 | 5 | 0,2-0,3 | 103 | 25 |
AgCl - 5 | УК-5 | ||||||||||
10 | Cu-Zn | Pd-Ag | PdCl2 - 17 | NH4Cl - 10 | ТМФ-100 | - | 75 | 5 | 0,2-0,3 | 101 | 60 |
AgNO3 - 1 | |||||||||||
11 | Cu | Pd-Ru | PdCl2 - 10 | NH4Cl - 10 | ПК-95 | Сп-5 | 80 | 15 | 0,3 | 108 | 3 |
RuCl3 - 20,5 | |||||||||||
12 | Fe-Ni | Pd-Ru | PdCl2 - 10 | NH4Cl - 10 | ПК-98 | Глиц.-2 | 90 | 10 | 0,4 | 102 | 1,5 |
RuCl3 - 12,5 | |||||||||||
13 | Cu | Pd-Bi | PdCl2 - 10 | NH4Cl - 10 | ПК-95 | Глиц.-5 | 75 | 20 | 0,8 | 87 | 36 |
Bi(NO3)3 - 16 | |||||||||||
14 | Ni | Pd-Bi | PdCl2 - 6 | NH4Cl - 10 | ТМФ-80 | - | 50 | 10 | 0,5 | 110 | 44 |
Bi(NO3 )3 - 12 | ПК-20 | ||||||||||
15 | Ni | Pd-Pb | Pd(NO3)2 - 10 | NH4Br - 8 | ПК-90 | Глиц.-10 | 90 | 20 | 0,9-1,0 | 90 | 41 |
PbBr2 - 12 | |||||||||||
16 | Cu | Pd-Pb | PdCl2 - 12 | NH4Cl - 8 | ТМФ-95 | Глиц.-5 | 90 | 20 | 1,1 | 100 | 36 |
PbCl2 - 12 | |||||||||||
17 | Cu | Pd-Sb | PdCl2 - 10 | NH4Cl - 6 | ТМФ-90 | - | 50 | 5 | 0,3 | 96 | 6 |
SbCl3 - 5 | Сул-10 | ||||||||||
УК - уксусная кислота, ПК - пропиленкарбонат, Сп - спирт, ТМФ - триметилфосфат, ДМСО - диметилсульфоксид, Глиц - глицерин, ТБФ - трибутилфосфат, ИС - изопропиловый спирт, Сул - сульфолан |
Класс C23C18/42 покрытие благородными металлами