Насосы с осевым потоком: ..для создания глубокого вакуума, например молекулярные вакуумные насосы – F04D 19/04

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к турбомолекулярным насосам. Проточная часть насоса включает три ступени: турбомолекулярную и две молекулярных ступени. Верхний корпус 1 закреплен на торце выступа среднего корпуса 2, концентрично его наружной поверхности. Внутренняя поверхность корпуса 1 ограничена по торцам двумя внутренними выточками 15, 16 и содержит многозаходные винтовые канавки 17 с углом захода против вращения ротора 6. Корпус 2 выполнен с внешним торцевым фланцем 18 и содержит сквозные отверстия 19. Наружная поверхность цилиндрического выступа 13 корпуса 2 содержит многозаходные винтовые канавки 20 с углом захода в сторону вращения ротора 6. Верхняя часть ротора 6, выполненная в форме толстостенного цилиндра 21 с фрезерованными лопатками 7, имеющими угол наклона в сторону вращения ротора 6, при этом наружный диаметр цилиндра 21 в верхней части ротора 6 превышает наружный диаметр полого цилиндра 26 в нижней части ротора 6. Верхняя часть размещена внутри выточки 16 корпуса 1, образуя первую турбомолекулярную ступень проточной части. Концентрично расположенные напротив друг друга эквидистантные цилиндрические участки между внутренней поверхностью с канавками 17 корпуса 1, стенками полого цилиндра в нижней части ротора 6 и наружной поверхностью с канавками 20 корпуса 2 образуют вторую и третью молекулярные ступени проточной части. Изобретение направлено на разработку надежного, высокоэффективного турбомолекулярного насоса, обладающего улучшенными технико-эксплуатационными характеристиками. 6 з.п. ф-лы, 3 ил.

Изобретение относится к изготовлению роторов или статоров турбомолекулярного насоса с роторными лопастями из специального алюминиевого сплава. Указанный сплав является деформируемым Al-Cu-Mg-Mn - сплавом с содержанием меди (Сu) от 3,8 до 4,2 вес.% и содержанием магния (Mg) от 0,45 до 0,6 вес.%. В результате за счет комбинации обработки снятием стружки и способов пластического деформирования снижаются затраты на изготовление ротора и статора турбомолекулярного насоса. 1 з.п. ф-лы.

Объектом изобретения является способ изготовления роторов и статоров турбомолекулярного насоса с роторными лопастями из деформируемого Аl-Cu-Mg-Mn сплава. Роторные лопасти изготавливают из отдельных дисков или сплошных тел посредством снятия стружки или термической обработки и последующим пластическим деформированием с получением желаемого угла установки. Роторы или статоры имеют малый удельный вес при одновременно высокой прочности и хорошей обрабатываемости. 2. з.п. ф-лы.

Изобретение относится к способу покрытия изделий из вентильных металлов, которые применяются в качестве комплектующих для турбомолекулярных насосов. Изделие, изготовленное из вентильных металлов, выбранных из алюминия, магния, титана, ниобия и/или циркония и их сплавов, покрывают оксидным керамическим слоем, образованным из металла плазмохимическим способом. Керамический слой имеет барьерный межфазный слой, прилегающий к металлу, чью поверхность покрывают полимером, образованным из мономеров в виде димеров или галогенированных димеров общей формулы I

Изобретение относится к области вакуумной техники, в частности к механическим вакуумным насосам, и содержит цилиндрический корпус, разделенный поперечными статорными колесами, и ротор с набором роторных колес, выполненных в виде радиальных крыльчаток, закрытых с двух сторон дисками, причем один из дисков имеет центральное отверстие, совпадающее по диаметру с отверстием в статорном колесе, выполненном в виде диска с односторонним профилированным оребрением. Причем лопасти крыльчатки роторного колеса и оребрение статорного колеса выполнены со спиральным изгибом в противоположную от направления вращения сторону. Это позволяет улучшить откачные характеристики насоса за счет повышения коэффициента компрессии каждой ступени. 3 ил.