Микроструктурные технологии – B81

Группа изобретений относится к области медицины и может быть использована для мультиплексного анализа. Анализирующее устройство содержит реакционное пространство, два набора индивидуально закодированных микроносителей (2), причем каждый микроноситель является функционализирующим, а каждый микроноситель одного из по меньшей мере двух наборов имеет одинаковую функционализацию, в котором реакционное пространство является микроканалом. При этом микроносители (2) имеют форму относительно сечения микроканала (1), которая позволяет иметь по всей длине микроканала (1) два каких-либо микроносителя (2), расположенных бок о бок без соприкосновения друг с другом и без соприкосновения с периметром микроканала (1). При этом устройство содержит средство (4) для ограничения перемещения микроносителей (2) в продольном направлении микроканала (1), наряду с тем, что жидкости все еще могут протекать, а код микроносителей является указывающим на его функционализацию. Группа изобретений относится также к способу приведения мультиплексного анализа и микросхеме для мультиплексных анализов. Группа изобретений обеспечивает ускорение массопереноса, уменьшение количества образцов, упрощает подготовку и выполнение анализа и облегчает снятие показаний биологических реакций. 3 н. и 14 з.п. ф-лы,18 ил., 1 пр.

Изобретение относится к области приборостроения и может быть использовано при изготовлении чувствительных элементов, применяемых при изготовлении микромеханических акселерометров, микрогироскопов, интегральных датчиков давления. Задачей, на решение которой направлено изобретение, является упрощение и уменьшение технологического цикла сборки чувствительного элемента микромеханического датчика. В способе сборки чувствительного элемента микромеханического датчика совмещают стеклянную обкладку и кристалл из монокристаллического кремния, устанавливают и зажимают в специальном приспособлении, разогревают, выдерживают при заданной температуре и подают необходимое напряжение. При этом совмещают одновременно две стеклянные обкладки и кристалл из монокристаллического кремния, находящийся между ними, разогревают их до температуры 410°C, выдерживают 1,5 часа, подают напряжение на обе обкладки не меньше, чем на две минуты, отключают напряжение, меняют полярность напряжения, снова подают напряжение и повторяют цикл изменения полярности не менее трех раз. 1 ил.

Использование: область микроэлектроники, а именно сборка микроэлектромеханических устройств и систем (МЭМС) на основе пьезоэлектрического кварца. Технический результат: повышение надежности функционирования в условиях высоких комплексных внешних воздействий. Сущность: способ включает выполнение на контактных площадках первичного преобразователя (ПП) кристаллического типа объемных токовыводов (ОВ) методом термозвуковой микросварки с последующей установкой ПП на плату вторичного преобразователя МЭМС. При этом предварительно осуществляют высокотемпературную сборку ПП, состоящего из чувствительного элемента ЧЭ и других функциональных элементов МЭМС, которую проводят при температуре не более 500°C, после чего к объемным токовыводам, выполненным на контактных площадках ПП, изготовленных из чередующихся металлических слоев Cr - Au толщиной не более 0,4 мкм, приваривают токовыводы в виде проволоки из золота методом контактной сварки. Затем полученный указанным образом ПП присоединяют сформированными токовыводами в виде проволоки методом контактной сварки к контактным площадкам вторичного преобразователя (ВП) МЭМС. 2 ил.

Изобретение относится к области приборостроения и может быть использовано при регулировании расхода и температуры текучей среды. Материалы, компоненты и способы согласно настоящему изобретению направлены на изготовление и использование макромасштабных каналов, содержащих текучую среду, температура и расход которой регулируется с помощью геометрических размеров макромасштабного канала и конфигурации по крайней мере части стенки макромасштабного канала и потока составных частиц, образующих текучую среду. Кроме того, стенка макромасштабного канала и поток составных частиц имеют такую конфигурацию, чтобы столкновения между составными частицами и стенкой преимущественно сопровождались зеркальным отскоком. Технический результат - повышение точности регулирования температуры и расхода текучей среды. 4 н. и 50 з.п. ф-лы, 18 ил.

Изобретение относится к области микроэлектроники - устройствам микросистемной техники, выполненным по технологиям микрообработки кремния, и может быть использовано при создании систем терморегуляции нагреваемой поверхности космических аппаратов, либо иных систем, обеспечивающих микроперемещения в горизонтальной плоскости плоской функциональной несущей поверхности относительно неподвижного основания с расположенными на нем термомеханическими микроактюаторами, состоящими как минимум из двух слоев термодеформируемого материала. Заявленное микросистемное устройство терморегуляции поверхности космического аппарата включает: основание из диэлектрического материала с низким коэффициентом теплопроводности с отверстием прямоугольной формы; как минимум два ряда независимых параллельных канала управления из микроактюаторов, расположенные параллельно друг другу вдоль основания (как это показано на фиг.1а, б); отражающий экран, расположенный над микроактюаторами; металлизированные дорожки с электрическими контактами на основании и/или внутри него для электрического контакта с микроактюаторами; направляющие отражающего экрана, закрепленные на основании; полиимидные прижимы, расположенные между направляющими отражающего экрана и отражающим экраном; при этом соседние микроактюаторы в ряду повернуты друг к другу под углом 180 градусов, количество микроактюаторов в каждом ряду равно, количество рядов - четное количество, а количество микроактюаторов в каждом ряду не менее 6, микроактюаторы выполнены с возможностью углового перемещения подвижных элементов на угол не менее 30 градусов; отражающий экран расположен над микроактюаторами так, что ось симметрии отражающего экрана равноудалена от каждой пары рядов микроактюаторов (как это показано на фиг.1а, б); свободная поверхность основания покрыта с обеих сторон материалом с высоким коэффициентом отражения; усилие на подвижных элементах микроактюаторов такое, что суммарно для всех микроактюаторов оно оказывается достаточным для преодоления силы трения между отражающим экраном и микроактюаторами. Техническим результатом заявленного изобретения является:

- уменьшение массогабаритных параметров за счет линейного перемещения подвижного элемента в одной плоскости;

- работоспособность системы в условиях открытого космоса, а также устойчивость к жестким температурным условиям эксплуатации;

- уменьшение потерь на трение между элементами конструкции;

- увеличение эффективности работы системы за счет активного управления и за счет полного закрытия защищаемой поверхности отражающим экраном;

- уменьшение напряжения питания до бортового;

- увеличение надежности за счет применения микроприводов, устойчивых к многократным изгибам;

- уменьшение энергопотребления за счет режима работы, подразумевающего активность системы, и, как следствие, энергопотребление, только в момент осуществления передвижения экрана, то есть в момент изменения температурного режима защищаемого объекта и/или окружающей среды;

- возможность изготовления систем терморегуляции групповыми методами по стандартным технологиям микрообработки кремния и механообработки элементов конструкции. 14 з.п. ф-лы, 5 ил.

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для прецизионных измерений давления жидких и газообразных сред. Сущность: датчик содержит корпус, установленную в нем нано- и микроэлектромеханическую систему (НиМЭМС), состоящую из упругого элемента в виде мембраны с жестким центром, заделанной по контуру в опорное основание, образованной на ней гетерогенной структуры из тонких пленок материалов, герметизирующей контактной колодки и соединительных проводников. Сформированные в гетерогенной структуре радиальные тензорезисторы, установленные по двум окружностям, состоят из идентичных тензоэлементов в форме квадратов, соединенных тонкопленочными перемычками и включенных в мостовую измерительную цепь. Центры первых и вторых тензоэлементов размещены по окружностям с радиусами, определенными по соответствующим соотношениям. Между мембраной и жестким центром, а также мембраной и опорным основанием выполнены закругления с определенным радиусом. Технический результат: повышение точности и технологичности. 1 табл., 9 ил.

Изобретение относится к теплотехнике и может быть использовано при отводе тепла от тепловыделяющих элементов в скважинах. В устройстве, содержащем анизотропный нанокомпозиционный элемент, имеющий тепловую связь с тепловыделяющим элементом для отведения тепла от тепловыделяющего элемента вдоль заданного направления, анизотропный нанокомпозиционный элемент формирует кабель и включает теплопроводящие наночастицы, внедренные в материал-основу и выровненные в нем для формирования теплопровода с возможностью передачи тепла от первого конца кабеля к его второму концу, и при этом теплопроводность в заданном направлении больше, чем теплопроводность в направлении, перпендикулярном к этому заданному направлению, а материал-основа сконфигурирован с возможностью контакта с тепловыделяющим и теплопоглощающим элементами. Изобретение также включает способ отвода тепла и инструмент для использования в скважине. Технический результат - повышение работоспособности скважинного инструмента. 3 н. и 11 з.п. ф-лы, 5 ил.

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к датчикам давления на основе тонкопленочных нано- и микроэлектрических систем (НиМЭМС), предназначенных для использования в системах управления, контроля и диагностики объектов длительного функционирования. Способ изготовления заключается в полировании поверхности мембраны, формировании на ней диэлектрической пленки и тензоэлементов с низкоомными перемычками и контактными площадками между ними с использованием шаблона тензочувствительного слоя, имеющего конфигурацию тензоэлементов в зонах, совмещаемых с низкоомными перемычками и контактными площадками. При этом формирование тензоэлементов с низкоомными перемычками и контактными площадками между ними проводят в областях, в которых воздействующие на них при эксплуатации деформации и температуры удовлетворяют соответствующему соотношению. После формирования измеряют размеры и площадь элементов и переходов НиМЭМС с учетом количества, размеров и распределения дефектов, затем вычисляют по ним критерий временной стабильности по соответствующему соотношению. Если критерий временной стабильности меньше, чем предельно допустимое значение критерия временной стабильности, которое определяется экспериментальным путем по статистическим данным для конкретного типоразмера датчика, то данную сборку передают на последующие операции. Технический результат заключается в повышении временной стабильности, ресурса и срока службы. 2 ил.

Изобретение относится к области теплотехники и гальванотехники и может использоваться в системах повышения теплоотдачи для улучшения характеристик теплоотдачи на различных поверхностях устройства теплопередачи. Это достигается использованием в качестве микротурбулизирующих частиц углеродных нанотрубок (УНТ) «Таунит», а в качестве связывающей среды - оксидных гальванических покрытий. Прикрепление множества микротурбулизирующих частиц на теплоотдающую поверхность осуществляют с помощью нанесения оксидных покрытий, наномодифицирование которых осуществляют введением в электролит оксидирования УНТ «Таунит» с помощью ультразвукового диспергатора. Данный способ обеспечивает интенсификацию теплообменных процессов на теплоотдающих алюминиевых поверхностях, а также простоту реализации. 2 табл., 1 з.п. ф-лы.

Изобретение относится к электронике и микроэлектромеханическим системам. Cхема электронная или микроэлектромеханическая с радиационным источником подвижных носителей заряда (изистор) содержит, по крайней мере, две области - первую и вторую. Первая область состоит из радиоизотопного материала, испускающего за счет радиоактивного излучения подвижные носители заряда, а вторая область состоит из нерадиоизотопного материала, принимающего внедряемые в нее указанные выше подвижные носители заряда. Эти две области располагают либо отдельно относительно друг друга на расстоянии, не большем, чем длина пробега вышеуказанных подвижных носителей заряда, испущенных первой областью радиоизотопного материала, либо первую область радиоизотопного материала, испускающего подвижные носители заряда, располагают на поверхности второй области нерадиоизотопного материала, либо первую область радиоизотопного материала, испускающего подвижные носители заряда, располагают в рассеянном виде или в виде объединенной структуры внутри второй области нерадиоизотопного материала. Изобретение обеспечивает возможность создания активного прибора изистора, обладающего постоянной готовностью к работе и не требующего времени для подключения прибора к источнику напряжения для обеспечения прохождения через него определенной величины уровня тока подвижных носителей заряда. 12 з.п. ф-лы, 1 табл., 6 ил., 1 пр.

Изобретение относится к приборостроению и может быть использовано при изготовлении полупроводниковых микроэлектромеханических устройств, а именно малогабаритных датчиков физических величин. Изобретение обеспечивает увеличение количества годных микроэлектромеханических структур за счет совершенствования способа электростатической анодной посадки. В способе изготовления микроэлектромеханических структур путем анодного соединения (анодной сварки) двухслойной структуры из пластины кремния с предварительно очищенной стеклянной подложкой при нагревании их в вакууме и приложении напряжения, предварительно пластину из кремния разделяют на кристаллы, формируют пары структур кремний - стекло, размещают их в кассету вертикально, прижимая друг к другу, кассету помещают в графитовый нагреватель и нагревают их при температуре от 370°С до 400°С, после чего подают анодное напряжение на стекло в интервале от 200 до 500 вольт для формирования слоя объемного заряда в стекле, прилегающем к поверхности кремния. В устройстве для изготовления микроэлектромеханических структур графитовый столик выполняют с боковыми стенками, в которых, как и в основании графитового столика, установлено не менее двух нагревательных элементов в каждом, на торцах двух противоположных стенок установлены токовводы для подачи анодного напряжения, на основании столика расположена кассета, в которой размещены пары структур кремний - стекло. 2 н. и 1 з.п. ф-лы, 4 ил.

Изобретение относится к микросистемной технике и может быть использовано при изготовлении микроэлектромеханических реле. Способ изготовления микроэлектромеханических реле включает последовательное формирование на подложке контактной металлизации, состоящей из управляющего электрода, двух нижних коммутируемых контактов, расположенных с двух сторон от управляющего электрода на определенном расстоянии, «жертвенного» слоя, верхнего подвижного контакта, расположенного над управляющим электродом и нижними коммутируемыми контактами, опор для подвеса подвижного верхнего контакта. «Жертвенный» слой формируют из не менее трех «жертвенных» подслоев в несколько стадий с использованием двух позитивных фоторезистов с различной величиной вязкости, формируют отверстия для нижних коммутируемых контактов и опор для подвеса подвижного верхнего контакта методом фотолитографии, на конечной стадии проводится термообработка «жертвенного» слоя. Техническим результатом заявленного изобретения является получение высокого уровня планарности «жертвенного» слоя, что повышает воспроизводимость технологического процесса изготовления микроэлектромеханических реле. 4 з.п. ф-лы, 9 ил.

Изобретение относится к области космического приборостроения и микроэлектроники и может быть использовано для систем защиты информационно-телекоммуникационной аппаратуры ИТА беспилотных малых космических аппаратов от высоких стартовых перегрузок на заданных пороговых значениях. Изобретение обеспечивает повышение технологичности, снижение трудоемкости способа получения групп микроэлектромеханических ключей, повышение надежности срабатывания при достижении пороговых величин ускорений при электромагнитоэлектрическом старте беспилотных малых космических аппаратов. В способе получения микроэлектромеханического ключа, являющегося основой системы защиты информационно-телекоммуникационной аппаратуры космических аппаратов при электромагнитном старте с перегрузками от нескольких тысяч до десятков тысяч единиц ускорений свободного падения тела, формируют чувствительный блок, состоящий из балки и опор, примыкающий при воздействии ускорения к подложке с помощью контактных элементов, формируя при этом сигнал, указывающий на порог величины ускорения, по которому судят о перегрузке аппаратуры, формируют травлением через маску на плоской полупроводниковой подложке проводящие дорожки и контактные площадки из системы металлов ванадий-алюминий, а чувствительный блок получают с помощью двухслойной системы металлов железо-никель, которые осаждают друг на друга в едином технологическом цикле термического испарения в вакууме, которые затем травят через маску в водном растворе соляной кислоты до получения заданной формы чувствительного блока в одном технологическом цикле. 4 з.п. ф-лы, 3 ил., 2 табл.

Изобретение относится к области часовой промышленности, а именно к системе шестерен, которая включает в себя крепежное устройство, предотвращающее возникновение напряжения сдвига, что обеспечивается за счет того, что система шестерен включает в себя шестерню и зубчатое колесо, соосно установленные относительно поворотной оси, и крепежное устройство между вышеуказанной шестерней и вышеуказанным колесом для предотвращения относительного перемещения одного из них относительно другого. При этом согласно изобретению крепежное устройство включает в себя фасонное углубление, форма которого, по меньшей мере, частично согласуется с сечением вышеуказанной секции и которое выполнено на ступице вышеуказанного колеса для крепления вышеуказанной шестерни и колеса при вращении. 3 н. и 13 з.п. ф-лы, 9 ил.

Микроэлектромеханический ракетный двигатель предназначен для использования в составе космических разгонных блоков, наноспутников. Микроэлетромеханический ракетный двигатель выполнен в виде структуры из полупроводниковых кристаллов кремния, расположенных один над другим, в одном из которых выполнена камера сгорания с топливным элементом, и содержит блок поджига топлива с металлическими проводниками. Камера сгорания с топливным элементом выполнена в виде нанокристаллического пористого кремния глубиной не более 60 мкм, поры которого насыщены водородом и допированным нитратом калия. Во второй пластине выполнено сопло, расположенное симметрично нанокристаллическому пористому кремнию и сочленное с ним через металлические проводники. Изобретение направлено на упрощение и удешевление процесса изготовления двигателя, обеспечение высокой надежности двигателя по сопутствующим работе двигателя температурам, механическим нагрузкам, режиму работы двигателя и обеспечение нормальной газодинамической функции за счет предлагаемой конструкции и топлива. 1 ил.

Изобретение может быть использовано области интегральной и нелинейной оптики. Способ создания планарного волновода оксида цинка на ниобате лития включает приготовление пленкообразующего раствора с последующим выдерживанием его в течение 1 суток при комнатной температуре, нанесение раствора на полированный ниобат лития, сушку, отжиг, постепенное охлаждение в условиях естественного остывания муфельной печи. Ниобат лития предварительно очищают 96% раствором этилового спирта. Сушку ниобата лития с нанесенным пленкообразующим раствором осуществляют при температуре 60°С в течение 1 часа, с последующим отжигом при 400°С в атмосфере воздуха со скоростью нагрева 14°С/мин 1 час и при температуре 870-1050°С со скоростью нагрева 35°С/мин от 2 до 5 часов, при следующем соотношении компонентов пленкообразующего раствора, мас.%: кристаллогидрат нитрата цинка - от 5,2 до 9,9%; салициловая кислота - от 4,6 до 4,8%; 96% раствор этилового спирта - остальное. Изобретение позволяет снизить трудоемкость и энергоемкость процесса получения стойкого к излучению в зеленой области спектра планарного волновода со значениями максимального приращения показателя преломления 0,003-0,005. 1 ил., 2 табл., 3 пр.

Изобретение относится к области измерительной техники, в частности к средствам измерения линейных ускорений, угловых скоростей и тепловых полей малой интенсивности в инфракрасной и терагерцовой области. Сущность способа изготовления наноэлектромеханического преобразователя на основе поверхностной микромеханической технологии для кремниевого или сапфирового основания, заключается в том, что предварительно создают соответствующую планарную интегральную схему, для чего сначала формируют контактные площадки на обратной стороне основания, затем создают первый проводниковый слой, после чего осуществляют формирование контура чувствительного элемента преобразователя и удаляют жертвенный слой, а завершают способ корпусировкой преобразователя и формированием вискеров. Кроме того, при корпусировке преобразователя в замкнутом объеме корпуса создают газовую среду с заданными параметрами, а формирование вискера осуществляют за счет подачи на электроды импульсов заданной формы. В качестве заданных параметров среды используют, например, давление и/или точку росы. На электроды подают импульсы в форме полупериода синусоиды заданной амплитуды и частоты. Технический результат заключается в унификации различных типов датчиков с автоэлектронной эмиссией и уменьшении типоразмеров различных датчиков. 3 з.п. ф-лы, 12 ил.

Способ изготовления по меньшей мере двух типов электромеханических устройств, имеющих различные раскрепленные состояния после удаления временного слоя, состоит в следующем. Берут подложку, по меньшей мере на части подложки формируют первый электропроводящий слой. По меньшей мере на части первого электропроводящего слоя формируют первый временный слой. Поверх первого временного слоя формируют электропроводящие подвижные элементы, каждый из которых имеет деформируемый слой, выполненный с возможностью перемещения в зазоре после удаления указанного временного слоя. Поверх подложки формируют регуляторы прогиба, выполненные с возможностью поддерживания электропроводящих подвижных элементов после удаления первого временного слоя, при этом по меньшей мере часть по меньшей мере одного регулятора прогиба соединена с частью деформируемого слоя подвижного элемента и расположена выше нее, так что указанная часть деформируемого слоя, соединенная по меньшей мере с одним регуляторов прогиба, расположена между указанным по меньшей мере одним регулятором прогиба и подложкой. Первый временный слой выполнен с возможностью удаления для раскрепления электромеханических устройств и формирования посредством регуляторов прогиба между первым электропроводящим слоем и подвижными элементами зазоров различной глубины. 9 н. и 22 з.п. ф-лы, 43 ил., 1 табл.

Группа изобретений относится к области гальванотехники и может быть использована в различных способах обработки, в частности, для штамповки, литья, печати. Форма для формирования структуры глаза мотылька на поверхности содержит основу из стекла или пластмассы, неорганический подслой, буферный слой, содержащий алюминий, алюминиевый слой и пористый слой оксида алюминия, имеющий на поверхности перевернутую структуру глаза мотылька со множеством углублений, размер которых в двух измерениях, видимый в направлении нормали к поверхности, составляет не менее 10 нм и менее 500 нм. Способ содержит стадии: (а) предусматривают основу формы из стекла или пластмассы, неорганический подслой, буферный слой, содержащий алюминий, и алюминиевый слой, (b) частично анодируют алюминиевый слой для формирования пористого слоя оксида алюминия с множеством углублений, (с) подвергают пористый слой оксида алюминия травлению, увеличивая в размере углубления пористого слоя, и (d) анодируют пористый слой оксида алюминия для роста углублений. Технический результат: повышение адгезии между алюминиевым слоем и основой. 2 н. и 6 з.п. ф-лы, 2 табл., 4 пр., 7 ил.

Группа изобретений относится к пресс-формам, предназначенным для получения антиотражающей структуры на изделии. Пресс-форма содержит гибкую полимерную пленку, расположенный на ней слой отверждаемой смолы и слой пористого оксида алюминия на слое отверждаемой смолы. Слой пористого оксида алюминия имеет обращенную рельефную структуру своей поверхности. Упомянутая структура имеет множество углублений. Размер углублений по двум осям, если смотреть в перпендикулярном направлении к поверхности, составляет не меньше 10 нм и меньше 500 нм. Гибкая пресс-форма может быть установлена на внешней поверхности основы в форме ролика. С помощью пресс-формы в форме ролика формируют антиотражающую структуру на поляризационной пластине. Для этого пластину перемещают относительно пресс-формы. При этом перед формированием структуры обеспечивают расположение поляризационной оси пластины параллельно периметру ролика, имеющему длину, которая равна 2 r, где r - радиус ролика. В результате обеспечивается упрощение изготовления гибкой пресс-формы. 4 н. и 11 з.п. ф-лы, 18 ил., 1 табл.

Изобретение относится к области электронной техники и может быть использовано при изготовлении приборов микроэлектромеханических систем, в частности интегральных микромеханических реле и устройств на их основе: силовых переключателей, схем памяти, сенсорных датчиков, систем обработки информации и др. Способ изготовления интегрального микромеханического реле с подвижным электродом в виде структуры с пьезоэлектрическим слоем, состоящее из подложки, покрытой диэлектрическим слоем с нижним (неподвижным) электродом, и подвижного электрода, состоящего последовательно из нижнего токопроводящего слоя, диэлектрического слоя с высокими упругими свойствами, среднего токопроводящего слоя, пьезоэлектрического слоя, верхнего токопроводящего слоя, расположенного на поверхности вышеупомянутой подложки, осуществляется на поверхности кремниевых пластин. Создание интегрального микромеханического реле с подвижным электродом в виде структуры с пьезоэлектрическим слоем осуществляют в едином технологическом цикле при упрощенной технологии изготовления, совместимой с технологией производства интегральных схем, в которой формирование подвижного электрода возможно в виде консоли или в виде балки и включает операции: формирования на поверхности кремниевой подложки пленки Si₃N₄ методом пиролиза SiN₄; напыление слоя TiN и формирование структуры «нижний электрод» методом проекционной фотолитографии и плазмохимического травления слоя TiN; осаждение слоя ФСС (фосфатно-силикатного стекла) методом химического осаждения из газовой фазы и формирование на его основе жертвенного слоя методом жидкостного химического травления; напыление первого слоя TiN; осаждение диэлектрического слоя Si₃N₄; напыление второго слоя TiN; осаждение пьезоэлектрического слоя ЦТС; напыление третьего слоя TiN; плазмохимическое травление слоев: третьего слоя TiN, слоя ЦТС, второго слоя TiN, слоя Si₃N₄, первого слоя TiN с формированием подвижного многослойного электрода и вскрытием жертвенного слоя ФСС, жидкостное химическое травление жертвенного слоя ФСС с образованием воздушного зазора между неподвижным и подвижным электродами. Технический результат: использование в качестве подвижного электрода микромеханического реле многослойной структуры с пьезоэлектрическим слоем на основе сегнетоэлектриков приводит к повышению надежности и к увеличению долговечности работы микромеханического реле. Использование микроэлектронной технологии для производства микромеханического реле позволяет минимизировать размеры устройства до 20-80 мкм и упростить технологию его производства. 2 з.п. ф-лы, 5 ил.

Изобретение относится к вакуумной технике и представляет собой способ получения газопоглощающей структуры для поддержания вакуума в различных приборах, в том числе микроэлектромеханических системах. Газопоглощающая структура представляет собой слой активного металла либо сплава с развитой поверхностью, соединенный с несущей подложкой, обеспечивающей механическую прочность газопоглотителя и возможность его монтажа в различные устройства. Технический результат - повышение эффективности поверхности и сорбционной емкости. 8 ил.

Изобретение относится к способу изготовления составного микромеханического компонента, сочетающему процессы глубокого реактивного ионного травления и литографии, гальванопластики и формования. Сущность изобретения: способ изготовления составного микромеханического компонента из кремния и металла включает следующие этапы: подготовку подложки, включающей верхний и нижний слои кремния, между которыми проходит промежуточный слой оксида кремния, избирательное травление по меньшей мере одной полости в верхнем слое для ограничения рисунка кремниевой части этого компонента, продолжение травления этой по меньшей мере одной полости в промежуточном слое, при этом в способе дополнительно выращивают металлический слой по меньшей мере от одного участка указанной по меньшей мере одной полости с целью создания металлической части в толще компонента для изоляции кремниевой части микромеханического компонента от разрушающих механических напряжений и отделяют составной микромеханический компонент от подложки. Изобретение обеспечивает получение составных микромеханических компонентов, приспособленных для изготовления часов. 3 н. и 29 з.п. ф-лы, 12 ил.

Экран содержит оптические регуляторы, соответствующие каждому пикселю. Оптической регулятор выполнен в виде двух наложенных друг на друга плоских поляризаторов, один из которых выполнен в виде сплошного общего для регуляторов всех пикселей неподвижного поляризатора, второй имеет площадь, перекрывающую площадь пикселя, и выполнен с возможностью поворота относительно первого вокруг нормальной к их плоскостям фиксированной оси. Средством для осуществления поворота может быть микроэлектромеханический привод или перо, создающее в области пишущего конца локальное магнитное или электрическое поле, параллельное плоскости экрана. Экран может быть применен в качестве оптического коммутатора. Технический результат - создание экрана с высоким быстродействием, простого по конструкции и технологии изготовления, не требующего питания для сохранения статического изображения, надежного и радиационно-стойкого. 2 н. и 17 з.п. ф-лы, 3 ил.

Устройства МЭМС изготавливают следующим образом. Берут подложку. Наносят на нее электродный слой. Наносят поверх электродного слоя временный слой. Формируют во временном слое рельеф с образованием отверстий. Наносят поверх временного слоя подвижный слой. Формируют поддерживающие структуры, расположенные над подвижным слоем и по меньшей мере частично в отверстиях в временном слое. Между по меньшей мере двумя поддерживающими структурами проходит участок подвижного слоя. Травят временный слой для его удаления, благодаря чему между подвижным слоем и электродным слоем образуется полость. Участок подвижного слоя выполнен с возможностью деформации и прижима к нижележащим слоям в ответ на образование электростатического потенциала между подвижным слоем и электродным слоем. 8 н. и 120 з.п. ф-лы, 101 ил.

Изобретение относится к микро- и нанодвигателям и может быть использовано для построения микро- и нанодвигателей систем передвижения и транспортировки различного назначения. Технический результат, достигаемый настоящим изобретением, состоит в обеспечении возникновения сдвигающих сил на взаимодействующих частях двигателя, чем, в свою очередь, достигается непрерывность движения двигателя с неограниченным рабочим ходом. Предлагаемый микро-, нанодвигатель состоит из двух частей, способных изменять относительное положение, на которых находятся обращенные друг к другу электропроводящие поверхности, расположенные в заданном направлении с заданным шагом и с зазором между ними. При этом, согласно данному изобретению, проводящие поверхности имеют форму и положение, при котором угол между нормалью n₁, проведенной от произвольной точки проводящей поверхности первой части двигателя, и нормалью n₂, проведенной из этой точки к ближайшей проводящей поверхности второй части, не превышает 10°, а угол между нормалью n₁ от проводящей поверхности первой части и направлением движения данной точки не больше 89,7°. 3 з.п. ф-лы, 3 ил.

Изобретение относится к способу получения дициклопентена (трицикло-[5.2.1.0^2.6]децена-3), включающему гидрирование дициклопентадиена в растворе водородом в жидкой фазе с использованием тонкодисперсных катализаторов платиновой группы при атмосферном давлении и умеренной температуре (30-80°C) и последующее выделение целевого продукта. Способ характеризуется тем, что гидрирование проводят в растворе толуола в присутствии добавок - функционально замещенных ароматических соединений, способных адсорбироваться на поверхности катализатора, таких как п-оксидифениламин, гидрохинон, -нафтиламин, п-фенилендиамин, 2,6-ди-трет-бутил-4-метилфенол, в количестве 1-5 мас. дол.% в расчете на взятый катализатор, а выделение целевого дициклопентена осуществляют путем отгонки толуола при пониженном или атмосферном давлении. Использование настоящего способа позволяет получать дициклопентен высокой степени чистоты. 6 пр.

Изобретение относится к антифрикционным полимерным композициям на основе полиамидов. Композиция содержит мас.%: графит - 3-15, медный комплекс тетраэтилтиурамдисульфида - 0,5-3, нанодисперсные смешанные оксиды медь-марганец (при соотношении медь:марганец 1:3-2:1) - 0,03-0,5, полиамид - остальное. Изобретение позволяет получить композиции с коэффициентом трения 0,1-0,14, интенсивностью изнашивания 6,2-8,7 мг/км при нагрузке 5 МПа и скорости скольжения 0,8 м/с. 1 з.п. ф-лы, 1 табл., 11 пр.

Изобретение может найти применение в области радиоэлектроники, машиностроения, нанотехнологии, электронной микроскопии, медицине. Изобретение направлено на уменьшение габаритов, на расширение функциональных возможностей за счёт обеспечения возможности манипулирования микро- и нанообъектами, возможности деформирования и обработки микро- и нанообъектов, возможности совместимости предлагаемой системы манипулирования микро- и нанообъектами с существующими системами наблюдения, исследования и наноманипулирования, а также на повышение быстродействия и упрощение технологии серийного производства, что обеспечивается за счет того, что устройство согласно изобретению содержит два плоских элемента, по крайней мере один из которых выполнен термочувствительным и состоящим из двух прочно соединенных между собой слоев, из которых один изготовлен из сплава с эффектом памяти формы с псевдопластической деформацией растяжения, а другой - из упругого материала. Плоские элементы соединены с одного конца, с другого конца сформирован захват для удержания объекта манипулирования. При изготовлении устройства предварительно изготовляют слой сплава с эффектом памяти формы и вносят в него псевдопластическую деформацию растяжения, а затем соединяют его с упругим слоем, причем соединение слоев производят при температуре ниже температуры мартенситного превращения в сплаве с эффектом памяти формы. Система манипулирования микрообъектами состоит из микромеханического устройства, закрепленного на конце микропроволоки нанопозиционера, рабочего поля с манипулируемым объектом и источника подогрева в виде полупроводникового лазера, излучение которого сфокусировано на рабочее поле системы манипулирования, включая конец микропроволоки с микропинцетом. 4 н. и 15 з.п. ф-лы, 7 ил.

Дисплей содержит средства пропускания света и средства обеспечения интерференции при отражении света, пропущенного через средства пропускания света. Средства обеспечения интерференции при отражении света содержат поглощающее вещество и подвижный отражающий слой. Поглощающее вещество расположено на части средств пропускания света. Подвижный отражающий слой расположен на поглощающем веществе. Коэффициент поглощения (k) поглощающего вещества ниже порогового значения для длин световых волн в рабочем оптическом диапазоне средств обеспечения интерференции при отражении света. Показатель преломления (n) поглощающего вещества возрастает по мере увеличения длины световой волны в рабочем оптическом диапазоне средств обеспечения интерференции при отражении света. Средства обеспечения интерференции при отражении света выполнены с возможностью отражения широкодиапазонного белого света в рабочем оптическом диапазоне. Технический результат - регулирование спектральных свойств отраженного широкодиапазонного белого света с высокой интенсивностью излучения. 4 н. и 38 з.п. ф-лы, 32 ил., 5 пр.