автоэмиссионный узел
Классы МПК: | H01J1/02 основные электроды H01J1/30 холодные катоды H01J1/88 монтаж, крепление, размещение или изоляция электродов или электродных узлов H01J19/24 холодные катоды, например катоды с автоэлектронной эмиссией H01J19/42 монтаж, крепление, размещение или изоляция электродов или электродных узлов |
Автор(ы): | Будзиаловский Вячеслав Валерьевич, Ивченко Сергей Викторович |
Патентообладатель(и): | Будзиаловский Вячеслав Валерьевич, Ивченко Сергей Викторович |
Приоритеты: |
подача заявки:
1995-12-01 публикация патента:
27.10.1997 |
Использование: изобретение относится к области микроэлектроники, в частности к автоэмиссионным источникам электронов. Сущность изобретения: автоэмиссионный узел содержит диэлектрический слой, на лицевой и оборотной сторонах которого расположены скрещивающиеся полосковые электроды. На лицевой стороне диэлектрического слоя дополнительно расположены локальные электроды, не контактирующие с полосковыми в этой же плоскости и одновременно находящиеся в контакте с полосковыми электродами обратной стороны диэлектрического слоя через перфорации в последнем. Достигаемый технический результат: повышение надежности ударной прочности и виброустойчивости; снижение конструктивной сложности. 2 ил.
Рисунок 1, Рисунок 2
Формула изобретения
Автоэмиссионный узел, включающий диэлектрический слой, на лицевой и обратной сторонах которого расположены скрещивающиеся полосковые электроды, отличающийся тем, что на лицевой стороне дополнительно расположены локальные электроды, не контактирующие с полосковыми электродами в этой же плоскости и одновременно находящиеся в контакте с полосковыми электродами обратной стороны диэлектрического слоя через перфорации в последнем.Описание изобретения к патенту
Изобретение относится к области микроэлектроники, в частности к автоэмиссионным источникам электронов в матричных структурах из планарно-торцевых автоэмиссионных ячеек. Известна конструкция матрицы микрокатодов с автоэлектронной эмиссией, имеющая подложку с выполненным на ней множеством конических участков с острыми вершинами, расположенными в отверстиях электрода затвора. Вершины концов сгруппированы в блоки из нескольких конусов с участками электрода затвора и разделены друг от друга, а каждый из них с помощью электродного вывода соединен с источником питания [1]Известно устройство, реализуемое способом изготовления плоских дисплеев, содержащее матрицу автоэмиссионных катодов, управляющие электроды, люминофорную пленку, при этом на матрице расположен ряд из основных, перпендикулярных линиям горизонтальной развертки, электродов [2]
Известные устройства не обладают достаточной надежностью, в частности виброустойчивостью и ударопрочностью, трудоемки в изготовлении и конструктивно сложны. Наиболее близкой к заявляемому решению является система матричного адресования для плоского дисплея с холодными катодами, включающая матрицу холодных катодов с возможностью избирательного адресования и состоящую из диэлектрической пластины для закрепления первого нижнего плоского ряда разделенных промежутками параллельных электрических выводов, соединенных электрически с катодами и поддерживающих эти катоды, и второго верхнего плоского ряда разделенных промежутками параллельных электропроводных выводов, расположенных над выводами первого ряда и на некотором расстоянии от них. Выводы второго ряда ориентированы перпендикулярно к выводам первого ряда. Система содержит по меньшей мере пару формируемых по отдельности смежных верхнего и нижнего слоев диэлектрического материала, расположенных между нижним и верхним рядами выводов для электрической изоляции одного ряда выводов от другого, при этом диэлектрические слои совместно с верхними выводами образуют матрицу отверстий, в каждой из которых расположен свой холодный катод [3]
Это устройство недостаточно надежно в эксплуатации из-за невысокой ударопрочности и виброустойчивости, трудоемко в изготовлении, конструктивно сложно. Цель изобретения повышение надежности работы автоэмиссионного узла, снижение конструктивной сложности. Поставленная цель достигается тем, что в автоэмиссионном узле, включающем диэлектрический слой, на лицевой и обратной сторонах которого расположены скрещивающиеся полосковые электроды, согласно изобретению на лицевой стороне расположены локальные электроды, не контактирующие с полосковыми электродами в этой же плоскости и одновременно находящиеся в контакте с полосковыми электродами обратной стороны диэлектрического слоя через перфорации в последнем. Сопоставительный анализ с прототипом показывает, что заявляемый автоэмиссионный узел отличается тем, что на одной из сторон диэлектрического слоя дополнительно расположены локальные электроды, не контактирующие с полосковыми электродами, что локальные электроды контактируют с полосковыми электродами обратной стороны диэлектрического слоя через перфорации в нем. Таким образом, автоэмиссионный узел соответствует критерию "новизна". Сравнение изобретения с другими известными решениями не позволило выявить в них признаки, отличающие заявленное решение от прототипа. На фиг. 1 изображен разрез автоэмиссионного узла; на фиг.2 - автоэмиссионный узел в плане со стороны локальных электродов. Автоэмиссионный узел состоит из диэлектрического слоя 1, полосковых электродов 2 лицевой стороны, локальных электродов 3 и полосковых электродов 4 обратной стороны, электрически контактирующих через перфорации 5. Автоэмиссионный узел может быть изготовлен по тонкопленочной технологии в едином технологическом цикле с формированием электродов фотолитографическим методом с минимальным количеством (не более трех) операций совмещения слоев. Автоэмиссионный узел работает следующим образом. При приложении рабочего напряжения между полосковыми электродами 2 лицевой стороны и полосковыми электродами 4 обратной стороны диэлектрического слоя на локальные электроды 3 подается рабочее напряжение, соответствующее по знаку полосковому электроду обратной стороны. Разность потенциалов между полосковым электродом 2 лицевой стороны и локальным электродом 3 вызывает автоэмиссионный поток электронов. При этом отрицательно заряженный электрод является планарно-торцевым автокатодом, а положительно заряженный выполняет роль коллектора электронов. Автоэмиссионный узел конструктивно прост и технологичен в изготовлении, так как имеет минимальное количество функциональных слоев, простую конфигурацию электродов при невысоких требованиях к точности их изготовления и широкий диапазон применяемых материалов. Повышенная виброустойчивость и ударопрочность обеспечиваются монолитным исполнением и преимуществами, вытекающими из плоского рельефа планарной конструкции, что повышает ее надежность.
Класс H01J1/02 основные электроды
Класс H01J1/30 холодные катоды
Класс H01J1/88 монтаж, крепление, размещение или изоляция электродов или электродных узлов
Класс H01J19/24 холодные катоды, например катоды с автоэлектронной эмиссией
Класс H01J19/42 монтаж, крепление, размещение или изоляция электродов или электродных узлов